[实用新型]一种具有自校准功能的次声传感器

权利要求书

1.一种具有自校准功能的次声传感器，所述次声传感器包括：次声传感器本体，所述次声传感器本体包括一个圆柱形壳体，其内设置一个隔板，将壳体内的空间分为前腔(5)和后腔(10)，在隔板上设置膜片(7)，在膜片(7)的下方设置后极板(8)，两者之间形成电容；后极板(8)连接检测电路(12)；

其特征在于，所述次声传感器还包括：电激励组件和信号产生模块；

所述电激励组件包括绝缘支撑件(9)和金属薄片极板(11)；所述绝缘支撑件(9)设置在隔板上并与其绝缘，所述金属薄片极板(11)固定在绝缘支撑件(9)上；

所述信号产生模块产生偏置电压的交流信号，发送至金属薄片极板(11)。

2.根据权利要求1所述的具有自校准功能的次声传感器，其特征在于，所述信号产生模块包括信号产生器(1)、交流升压转换单元(2)和直流电压升压转换单元(3)；所述信号产生器(1)产生校准正弦电信号，然后经过交流升压转换单元(2)将校准正弦电信号进行放大；并且通过直流电压升压转换单元(3)加载偏置，形成100V以上偏置电压的交流信号。

3.根据权利要求2所述的具有自校准功能的次声传感器，其特征在于，所述金属薄片极板(11)与直流电压升压转换单元(3)相连。

4.根据权利要求1所述的具有自校准功能的次声传感器，其特征在于，所述绝缘支撑件(9)为中空的圆柱体，所述膜片(7)在圆柱体内。

5.根据权利要求4所述的具有自校准功能的次声传感器，其特征在于，所述金属薄片极板(11)与膜片(7)平行，两者的距离介于50微米至500微米之间。

6.根据权利要求1所述的具有自校准功能的次声传感器，其特征在于，所述圆柱形壳体的上盖板上开设进声孔(4)或进声栅格，作为次声波进入前腔(5)的通道。

7.根据权利要求1所述的具有自校准功能的次声传感器，其特征在于，所述隔板上设置均压孔(6)，能够平衡前腔(5)和后腔(10)的压力。