[实用新型]应用于真空镀膜的卷带收集装置

说明书

本实用新型公开了一种应用于真空镀膜的卷带收集装置，包括底板以及设置在所述底板上的卷带收集组件和卷带支撑组件；所述底板上间隔设置有第一安装座对和第二安装座对，所述卷带收集组件包括可转动设置在所述第一安装座对上的主动带轮机构和可转动设置在所述第二安装座对上的从动带轮机构。本实用新型结构简单，利于实现小型化，可在小空间内实现卷带的自动缠绕收集；通过设置卷带支撑组件，对处于镀膜区域的卷带进行支撑，使其保持水平状态，使镀层均匀；本实用新型的主动带轮机构和从动带轮机构可方便从安装座上安装和取下，便于卷带的装入和取下；卷带支撑组件中的支撑辊的水平度和高度可方便调节，便于保证对卷带的良好水平支撑效果。

技术领域

本实用新型涉及机械领域，特别涉及一种应用于真空镀膜的卷带收集装置。

背景技术

随着扫描电子显微镜的广泛使用，承载样品的介质种类也是多种多样，而当实验人员使用绝缘卷带收集检测样品时，为了防止扫描电镜电子枪发射的高能电子束聚集在样品表面造成不可逆转的损伤，往往卷带需要镀上一层导电薄膜。需要注意的是，在镀膜时，如果已经镀上薄膜的部分没有及时进行收集，就会造成镀层不均匀，虽然对样品损伤较小，但导致成像效果较差，也不能得到理想的结果。

扫描电镜的光学成像原理是利用电子枪发射出的聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，观测者即可获得测试试样表面形貌信息。由于所要观测的样品连续且数量大，需要使用薄膜卷带收集。但是由于薄膜为绝缘性质，如果直接收集样品进行成像，高能电子束中的电子无法及时引出，聚集在样品上，不仅对样品产生较大损伤，以至于无法得到理想的结果，因此在收集样品之前，薄膜卷带需要镀上一层导电层。镀层的均匀性是需要保证的重要性质，现有的技术大多用于较大尺寸的薄膜的收集或者纺织材料的收集，针对扫描电镜成像所需的薄膜卷带的缠绕收集装置较少，且该应用场景中的镀膜仪真空腔体较小，现有产品无法使用。更重要的是，现有产品仅仅是用于完成缠绕收集的任务，并不需要考虑收集时的平稳性以及缠绕对象的水平状态，所以无法保证缠绕对象在镀膜区域保持较好的水平状态，会导致镀层不均匀，会对卷带的后续使用造成不良影响。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种应用于真空镀膜的卷带收集装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种应用于真空镀膜的卷带收集装置，包括底板以及设置在所述底板上的卷带收集组件和卷带支撑组件；

所述底板上间隔设置有第一安装座对和第二安装座对，所述卷带收集组件包括可转动设置在所述第一安装座对上的主动带轮机构和可转动设置在所述第二安装座对上的从动带轮机构；

所述第一安装座对和第二安装座对中的安装座的结构均相同，包括固接在所述底板上的下座、可转动设置在所述下座上方的上座、设置在所述下座和上座之间的铜瓦轴承以及用于将所述上座锁紧在所述下座上的锁紧机构。

优选的是，所述卷带支撑组件间隔设置在所述主动带轮机构和从动带轮机构之间，所述卷带支撑组件包括固接在所述底板上的支撑座和可转动设置在所述支撑座上的支撑辊。

优选的是，所述主动带轮机构包括可转动设置在所述第一安装座对上的主动轴和固接在所述主动轴上的主动带轮，所述从动带轮机构包括可转动设置在所述第二安装座对上的从动轴和固接在所述从动轴上的从动带轮。

优选的是，所述铜瓦轴承包括分别固接在所述上座的下端面和下座的上端面上的上半轴承和下半轴承，所述上半轴承和下半轴承之间用于可转动承载所述主动轴或从动轴。

优选的是，所述上座和下座的第一侧通过折页可转动连接，所述上座和下座的第二侧分别开设有相互连通的上锁紧槽和下锁紧槽，所述下座上还开设有与所述下锁紧槽垂直贯通的轴孔；