[实用新型]一种实现三自由度精确调节的BGA植球装置有效
| 申请号： | 202020564954.6 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN212161757U | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 徐子强;王大伟;赵璐 | 申请（专利权）人： | 中国航空无线电电子研究所 |
| 主分类号： | H01L21/60 | 分类号： | H01L21/60;H05K3/34;B25B27/14 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 杨慧 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 实现 自由度 精确 调节 bga 装置 | ||
1.一种实现三自由度精确调节的BGA植球装置，包括漏网固定台(1)、三自由度滑台(2)、支柱(3)、底座(4)和芯片固定台(5)，其特征在于四根支柱(3)一端穿过底座(4)四个角上的安装孔作为底座(4)的撑脚，支柱(3)另一端使用螺钉与漏网固定台(1)四个角固定；底座(4)作为三自由度滑台(2)的承载平台，三自由度滑台(2)放置在底座(4)上，三自由度滑台通过顶部的螺纹孔与芯片固定台(5)实现螺纹连接，三自由度滑台(2)带动芯片固定台(5)实现X、Y、Z三个方向的移动。
2.根据权利要求1所述的一种实现三自由度精确调节的BGA植球装置，其特征在于三自由度滑台(2)为XYZ燕尾槽移动机构。
3.根据权利要求1所述的一种实现三自由度精确调节的BGA植球装置，其特征在于芯片固定台包含芯片固定台底座(7)和X、Y方向的两组位移机构，每组位移机构包含二个顶块(6)、双向螺杆(8)和螺杆转动旋钮(9)；每个顶块(6)上有一个台阶，用于放置芯片；芯片固定台底座(7)中间镂空，双向螺杆(8)的中间有双向螺纹，二个顶块螺接在双向螺杆(8)的中间，双向螺杆(8)的二端穿过芯片固定台底座(7)与螺杆转动旋钮(9)固定。
4.根据权利要求1所述的一种实现三自由度精确调节的BGA植球装置，其特征在于漏网固定台由上压板(10)和下压板(12)组成，下压板的四角有磁性吸块(14)，用于快速固定不锈钢材料的植球漏网；上压板(10)、漏网(11)、下压板(12)通过(4)个螺钉孔(13)的螺纹连接固定。
5.根据权利要求4所述的一种实现三自由度精确调节的BGA植球装置，其特征在于在上压板(10)靠近角落的位置设置有导槽，导槽具有一定的斜度。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
