[实用新型]一种具有精准控温功能的循环流体系统

说明书

本实用新型公开了一种具有精准控温功能的循环流体系统，包括主循环流体系统，主循环流体系统在泵进口侧设置有第一止回阀，泵与第一止回阀之间的循环流体管板并联有厂务水进水管路，第一止回阀的进口侧循环流体管路并联有厂务水出水管路，控制厂务水流量调节阀的开关比例，进而控制主循环流体和厂务水的混合比例，保证主循环流体的温度精度达到±0.1℃，系统简单，温度响应时间快，控温精确。

技术领域

本实用新型涉及热交换系统，特别涉及一种具有精准控温功能的循环流体系统。

背景技术

在半导体制程中，为了保证工艺制程的精确性和稳定性，常常需要对半导体制程进行温度控制，采用厂务水带走工艺制程产生的热量。由于厂务冷却循环系统大多以工业冷水机作为PCW(工艺冷却水系统)发生设备，厂务水的控温精度指标一般都不高，最终输出的PCW温度稳定性较差，难以满足温度控制单元的控温精度需求。

现有常规的高精密温控设备通常采用二次循环液实现高精密温度控制，在工作时，厂务冷却循环系统提供恒温的厂务水，通过厂务水供水管路连接至换热器，在换热器中对流经负载的二次循环液进行冷却，冷却后温度升高的厂务水再通过厂务水回水管路回到厂务水供水设备中降温，之后再通过厂务水供水管流入换热器，如此往复，实现对二次循环液的冷却。

由于增加二次循环液系统，换热效率低，影响温控精度的响应时间，同时整个温控设备体积大，使温控设备在使用空间上受到限制。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的是提供一种具有精准控温功能的循环流体系统，用于满足高精度温度控制的要求。

技术方案：本实用新型所述的一种具有精准控温功能的循环流体系统，包括泵，泵的进口并联有厂务水进水管路，泵的出口连通有电加热装置，电加热装置包括电加热筒体、电加热部件以及温度保护开关，泵的出口与电加热筒体进口之间设置有用于检测循环流体流量的流量传感器，电加热筒体出口的管路上设置有用于检测循环流体温度的温度传感器和泵出口压力的压力传感器。

进一步的，泵的进口管路上设置有第一止回阀，第一止回阀并联有厂务水进水管路。

进一步的，厂务水进水管路设置有流量调节阀和过滤器，流量调节阀并联有第一电磁阀，第一止回阀的进口侧循环流体管路并联有厂务水出水管路。

进一步的，厂务水出水管路设置有第二止回阀，第二止回阀并联有第二电磁阀。

进一步的，电加热筒体连接有安全泄压阀，安全泄压阀的出口与厂务水出水管路连通

有益效果：本实用新型与现有技术相比：通过控制厂务水流量调节阀的开关比例，进而控制主循环流体和厂务水的混合比例，保证主循环流体的温度精度；采用循环流体和厂务水直接接触方式控温，系统简单，温度响应时间快，控温精确。

附图说明

图1一种具有精准控温功能的循环流体系统的原理图。

具体实施方式

如图1所示，一种具有精准控温功能的循环流体系统，包括泵1，泵1的进口并联有厂务水进水管路，泵1的出口连通有电加热装置，电加热装置包括电加热筒体3、电加热部件4以及温度保护开关5，泵1的出口与电加热筒体3进口之间设置有用于检测循环流体流量的流量传感器2，电加热筒体3出口的管路上设置有用于检测循环流体温度的温度传感器7和泵1出口压力的压力传感器6。

泵1的进口管路上设置有第一止回阀8，第一止回阀8并联有厂务水进水管路，厂务水进水管路设置有流量调节阀10和过滤器9，流量调节阀10并联有第一电磁阀11，第一止回阀8的进口侧循环流体管路并联有厂务水出水管路。厂务水出水管路设置有第二止回阀13，第二止回阀13并联有第二电磁阀12。