[实用新型]一种平板型电力半导体器件测试用新型高绝缘隔离双面加热平台

说明书

本实用新型涉及一种平板型电力半导体器件测试用新型高绝缘隔离双面加热平台。包括门式压力框架结构，加热系统，温度采集系统；所述加热系统包括上加热系统和下加热系统，上隔离板底部设有上加热系统，下隔离板顶部设有下加热系统，下加热系统上设有被测器件；上加热系统和下加热系统分别连接温度采集系统。本实用新型在诸多技术难点上进行一系列的攻克和突破。从而保证了平板型电力半导体器件更加准确稳定的测试效果。本实用新型可针对平板型电力半导体器件实现双面高效高精度加热，同时又可达到高压隔离的效果以便测试系统对器件进行各类电参数的测试，外接控温系统可对此平台进行加热控温。本实用新型具有适用性强、操作灵活便捷、生产效率高、节能环保等特点。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件测试领域，具体涉及一种平板型电力半导体器件测试用新型高绝缘隔离双面加热平台。

背景技术

目前平板型电力半导体器件作为一种成熟的电子开关型半导体器件被广泛应用。在其生产环节中，需要进行各类参数的测试。针对这些参数的绝大部分的测试必须提供加热平台。而电压参数有的可达到几千伏甚至上万伏。加热系统需要尽可能的对器件上下两个表面实现高精度均匀加热，而测试系统又需要测试电路与加热回路实现完全隔离。这两者从理论实现来讲本身就是矛盾的。

实用新型内容

为了解决上述问题本实用新型的目的是提供一种平板型电力半导体器件测试用新型高绝缘隔离双面加热平台。

本实用新型的技术解决方案如下：一种平板型电力半导体器件测试用新型高绝缘隔离双面加热平台，包括门式压力框架结构，加热系统，温度采集系统；

所述门式压力框架结构包括螺母，导杆、导套、气缸、下板、中间板、下隔离板、上隔离板、上板、机箱、其中所述两根导杆左右平行竖直设置在下板两端，由下至上分别穿过中间板、上板两端，穿过上板在顶部用螺母固定，在穿过中间板时穿孔内设置导套；下板、中间板、上板相互平行，与导杆形成门式框架，上板底部设置上隔离板，中间板顶部设置下隔离板，下板连接机箱，机箱内设有气缸，气缸的支撑部穿过下板设置在中间板底部；所述上加热系统设置在上隔离板的底部，所述下加热系统设置在下隔离板顶部，下加热系统上设有被测器件；上加热系统和下加热系统分别连接温度采集系统。

所述加热系统包括上加热系统和下加热系统，上加热系统和下加热系统包括，加热载体盖板、测试线、加热载体、石英管、加热丝、加热引出件、氧化镁粉、高温密封胶、石英砂、加热载体环状槽内设有环状石英管和加热引出件，加热载体与石英管之间空隙填充石英砂，加热载体表面设置加热载体盖板；环状石英管内部布置螺旋状的加热丝，内部填充氧化镁粉，环状石英管引出端设置加热引出件，环状石英管引出端用高温密封胶密封的同时将加热丝引出穿过加热引出件内部小孔，加热载体盖板一端设有测试线。

所述温度采集系统包括导热硅脂、热电偶、热偶隔离管、热偶绝缘套、顶紧弹簧、热偶挂轴、压簧紧顶套、压簧紧定螺钉、热偶压簧、热偶挂套，所述热偶绝缘套内设有顶紧弹簧，热偶隔离管从热偶绝缘套右端伸入并连接顶紧弹簧右端，热偶挂轴从热偶绝缘套左端伸入并连接顶紧弹簧左端，热偶挂轴左端设有热偶压簧，热偶压簧右端设有热偶挂套热电偶从左至右依次穿过热偶压簧、热偶挂轴、顶紧弹簧、通过导热硅脂与热偶隔离管内部连接，热偶压簧左端设有压簧紧顶套、压簧紧定螺钉固定热电偶，温度采集系统通过热偶绝缘套拧入加热载体内，热偶隔离管外表面涂抹导热硅脂插入加热载体内。

本实用新型涉及了一种新型的加热系统的实现方案，在加热源的优化、加热源的嵌入式结构、绝缘隔离、热电偶的温度采集结构等诸多技术难点上进行一系列的攻克和突破。从而保证了平板型电力半导体器件更加准确稳定的测试效果。本实用新型优点：

1.针对平板型电力半导体器件实现双面高效高精度加热，同时又可达到高压隔离的效果以便测试系统对器件进行各类电参数的测试。

2.本实用新型适用性强、操作灵活便捷、生产效率高、节能环保等特点。

附图说明