[实用新型]一种宽幅等离子表面处理装置

权利要求书

1.一种宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：包括封闭的箱体(1)，箱体(1)内设有隔板(2)和位于隔板的上方的绝缘的固定板(3)，箱体内的隔板(2)将箱体的内部隔断为进气区(4)、匀气区(5)及出气区(6)，进气区(4)和匀气区(5)之间设有多个连通的孔(7)，出气区(6)位于箱体(1)的底部，箱体(1)的底板上设有多个出气孔(8)，每个出气孔(8)上端固定一个电极组件(9)，电极组件(9)上端与固定板(3)连接，电极组件(9)与箱体(1)底板的出气孔一一对应，箱体(1)上固定有高压输入接口(10)，高压线接入后通过固定板(3)上的电路与电极组件(9)导通，所述高压输入接口(10)由绝缘件(11)、锥度电极公头(12)、锥度电极母头(13)以及螺纹紧固装置(14)组成，所述锥度电极公头(12)和锥度电极母头(13)上下对接设置，且表面由绝缘件(11)包覆，并通过螺纹紧固装置(14)固定在隔板(2)上，锥度电极母头(13)的下端连接固定板(3)，通过固定板(3)连接固定板下方的多个电极组件(9)。

2.根据权利要求1所述的一种宽幅等离子表面处理装置，其特征在于：所述电极组件(9)由弹簧支撑件(15)、钨钢电极头(16)和陶瓷绝缘件(17)，所述钨钢电极头(16)表面为金属螺旋式外形，钨钢电极头(16)的上端连接弹簧支撑件(15)，弹簧支撑件(15)的中间呈中空设置，且与固定板(3)连接，钨钢电极头(16)的下端镶在多个陶瓷绝缘件(17)内部，陶瓷绝缘件(17)底部留有放电孔位。