[实用新型]一种光致发光的检测装置

说明书

一种光致发光的检测装置，包括：密闭箱体、硅放置板、相机支架、检测相机和发光件；硅放置板安装于密闭箱体的底部，用于放置硅片和/或晶圆片；相机支架的一端固定于密闭箱体内，另一端连接检测相机；检测相机的镜头部分指向硅放置板；发光件设置于检测相机与硅放置板之间的位置；发光件包括：环状安装壳和灯件；环状安装壳为喇叭状的通壳，其下底面的口径大于上顶面的口径；检测相机的镜头位于上顶面的上方。环状安装壳的内环设有锥形端面；锥形端面设有若干个灯安装口；灯件安装于灯安装口，灯件为红外灯。检测装置能更准确、快速地捕捉到光子的分布，从而经过图像处理得到所需要的器件结构的状况，具有结构简单、成本低和检测精确的特点。

技术领域

本实用新型涉及光致发光技术领域，尤其涉及一种光致发光的检测装置。

背景技术

现有的光致发光的检测装置，其激光光源PL检测系统存在：成本高，大功率激光器成本大于在四、万元之间，再加上扩束系统等，成本非常昂贵，大大限制了其常规运用；结构复杂维修困难。激光器及其扩束系统，属于高精密仪器，一旦损坏，必须返厂由专业人员维修，不利于企业的生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种光致发光的检测装置，其将红外灯的灯件设置于环状安装壳的锥形端面内。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种光致发光的检测装置，包括：密闭箱体、硅放置板、相机支架、检测相机和发光件；

所述硅放置板安装于所述密闭箱体的底部，用于放置硅片和/或晶圆片；所述相机支架的一端固定于所述密闭箱体内，另一端连接所述检测相机；所述检测相机的镜头部分指向所述硅放置板；所述发光件设置于所述检测相机与所述硅放置板之间的位置；

所述发光件包括：环状安装壳和灯件；

所述环状安装壳为喇叭状的通壳，其下底面的口径大于上顶面的口径；所述检测相机的镜头位于所述上顶面的上方。环状安装壳的内环设有锥形端面；所述锥形端面设有若干个灯安装口；所述灯件安装于所述灯安装口，所述灯件为红外灯。

更进一步说明，所述检测相机的镜头部分设有滤光片。

更进一步说明，所述灯件为球状。

更进一步说明，还包括：高度调节组件；

所述高度调节组件包括：调节基座、固定座、调节驱动器和活动座；

所述调节基座固定于所述密闭箱体内；所述固定座安装于所述调节基座；所述调节驱动器的固定端固定于所述固定座，其输出端连接于所述活动座，用于驱动所述活动座竖直升降；所述活动座连接所述环状安装壳。

更进一步说明，所述高度调节组件包括：移动导轨和移动滑块；

所述移动导轨安装于所述调节基座；所述移动滑块安装于所述活动座；所述移动滑块可滑动地安装于所述移动导轨，使所述活动座可移动地安装于所述移动导轨。

更进一步说明，所述调节驱动器为气缸，其输出端连接所述活动座，用于驱动所述活动座竖直伸缩。

更进一步说明，所述调节驱动器包括：驱动电机、驱动丝杆和驱动固定台；

所述驱动电机安装于所述固定座，其输出端连接所述驱动丝杆的一端，用于驱动所述驱动丝杆转动；所述驱动固定台固定于所述调节基座，并可转动地连接于所述驱动丝杆；所述活动座设有内螺纹结构的配合座，所述配合座配合于所述驱动丝杆；

所述驱动电机驱动所述驱动丝杆转动时，所述活动座竖直移动，并带动所述环状安装壳移动。

更进一步说明，所述滤光片的数量至少为2。

更进一步说明，还包括：检测显示屏；