[实用新型]一种平行度检测仪及其调节控制器

说明书

本实用新型公开了一种平行度检测仪，包括：干涉仪，用于工件平行度检测时发射光束；置物台，用于放置标准工件；检测单元，用于放置待测工件，并使待测工件进行二维运动，包括横向运动机构，横向运动机构设有纵向运动机构，纵向运动机构设有调平组件，调平组件正上方设有反射组件，待测工件置于调平组件；控制柜，与干涉仪和检测单元连接，用于控制干涉仪与检测单元，使置于检测单元的待测工件进行二维运动，控制干涉仪的启闭状态；置物台设于干涉仪和检测单元之间。本实用新型方便待测工件的表面检测，方便进行载物台平整度的调整，方便进行反射镜的高度调整，提高了平行度的检测效率以及平行度的检测效果，具有较强的实用性。

技术领域

本实用新型涉及检测设备相关技术领域，尤其涉及一种平行度检测仪及其调节控制器。

背景技术

平行度指两平面或者两直线平行的程度，也指一平面或者一边相对于另一平面或者另外一边平行的误差最大允许值。平行度用于评价直线之间、平面之间或者直线与平面之间的平行状态，其中一个直线或者平面是评价的基准，而直线可以为被测工件的直线部分或者直线运动轨迹，平面可以使被测工件的平面部分或者运动轨迹形成的平面。

现有的平行度检测装置存在着载物待测平台的平整度不容易调整，同时不方便调整反射镜的高度，从而给高度较高的待测工件的平行度检测造成了较大的影响，同时，待测工件在检测过程中，不方便待测工件进行二维运动，从而不方便进行待测工件平面部分或者运动轨迹形成的平面进行检测，同时，现有技术，不方便控制待测工件的二维运动。

发明内容

本实用新型提供一种平行度检测仪及其调节控制器，以解决上述现有技术的不足，待测工件的表面检测，方便进行载物台平整度的调整，方便进行反射镜的高度调整，提高了平行度的检测效率以及平行度的检测效果，具有较强的实用性。

为了实现本实用新型的目的，拟采用以下技术：

本实用新型的一个方面提供一种平行度检测仪，包括：

干涉仪，用于工件平行度检测时发射光束；

置物台，用于放置标准工件；

检测单元，用于放置待测工件，并使待测工件进行二维运动，包括横向运动机构，横向运动机构设有纵向运动机构，纵向运动机构设有调平组件，调平组件正上方设有反射组件，待测工件置于调平组件；

控制柜，与干涉仪和检测单元连接，用于控制干涉仪与检测单元，使置于检测单元的待测工件进行二维运动，控制干涉仪的启闭状态；

置物台设于干涉仪和检测单元之间。

进一步地，检测单元还包括下支撑板，下支撑板向上延伸的安装有支撑柱若干，支撑柱上端安装有上组装柱若干，上组装柱组装形成一个矩形框；

反射组件包括安装于一对上组装柱之间的上安装板，上安装板向下延伸地安装有反射镜安装板，反射镜安装板装配有镜架，镜架下端倾斜地安装有镜框，镜框内安装有反射镜，反射镜与镜架所成的夹角为锐角，镜架上端装配有调节杆，调节杆旋于上安装板，调节杆用于调节反射镜的高度。

进一步地，调平组件包括安装于纵向运动机构的调平下板，调平下板正上方设有调平上板，调平上板上壁成形有圆槽，调平上板设有平整圆台，平整圆台置于圆槽内，调平上板一侧安装有调平卡板，调平下板一侧旋有锁止杆，锁止杆穿于调平卡板，调平上板与调平下板之间其中一个角处设有滚珠，调平上板另外三个角处装配有调平杆三个，调平上板另外三个角处与调平杆匹配地设有上插销三个，上插销均设有调平弹簧，调平弹簧下端均设有下插销，下插销均安装于调平下板；

调平杆包括装配于调平上板的转筒，转筒内旋有顶推杆，顶推杆下端与调平下板接触。