[实用新型]一种硅片插片入篮机构

说明书

本实用新型提供了一种硅片插片入篮机构，用于硅片传输组件传输的硅片插入片篮盒，包括垂直升降模块、夹紧组件、片篮盒、缓冲组件；所述夹紧组件安装在垂直升降模块的滑块上，所述片篮盒与夹紧组件为可拆卸连接，所述片篮盒内设有多个置片凹槽；所述片篮盒一侧开有硅片入口，远离硅片入口的一侧安装有缓冲组件。本实用新型所述的片篮盒固定在夹紧组件上，夹紧组件在垂直升降模块上移动，垂直升降模块实现了片篮盒精准移动，所述缓冲组件安装在片篮盒上，减少硅片入篮时的冲击力，减少硅片损伤。

技术领域

本实用新型属于光伏设备领域，尤其是涉及一种硅片插片入篮机构。

背景技术

随着半导体科学技术的飞速的发展，硅片的广泛应用涉及到现代社会的各行各业。硅片的生产加工量不断攀升，随之形成大规模流水生产。通常待加工硅片放置于周转装置中，通过生产线由机械手操作，进行每道工序的流水加工作业。现有的周转装置主要是采用框式结构的硅片盒来放置硅片，然而在硅片插入时，硅片撞击到硅片盒容易造成损坏，本发明解决以上技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种硅片插片入篮机构，以解决在插片过程中，硅片撞击到挡片杆损伤的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种硅片插片入篮机构，用于硅片传输组件传输的硅片插入片篮盒，包括垂直升降模块、夹紧组件、片篮盒、缓冲组件；

所述夹紧组件安装在垂直升降模块的滑块上，所述片篮盒与夹紧组件为可拆卸连接，所述片篮盒内设有多个置片凹槽；

所述片篮盒一侧开有硅片入口，远离硅片入口的一侧安装有缓冲组件。

进一步的，所述夹紧组件包括定位底板、第一定位侧板、第二定位侧板、顶紧气缸，所述定位底板向下延伸有挡板，所述顶紧气缸安装在第二定位侧板上，所述第一定位侧板、第二定位侧板分别安装在定位底板的第一U型槽两侧，所述片篮盒安装在第一定位侧板、第二定位侧板中间，所述顶紧气缸将片篮盒进行顶紧。

进一步的，所述定位底板上设有第一U型槽，所述挡板上设有第二U型槽，所述第一U型槽与第二U型槽相通，形成L槽，所述硅片传输组件一端位于L槽内，所述片篮盒上设有与第一U型槽相对应的第三U型槽，所述第三U型槽大小与第一U型槽相同，所述硅片传输组件位于L槽、第三U型槽内。

进一步的，所述垂直升降模块包括滑块、滑轨，所述滑块一端固定在第一定位侧板的外壁上，所述滑块另一端安装在滑轨上。

进一步的，所述第二定位侧板包括支撑杆、安装板，所述支撑杆设有两个，所述安装板安装在两个支撑杆上，所述顶紧气缸包括第一顶紧气缸、第二顶紧气缸，所述第一顶紧气缸安装在安装板上，所述第二顶紧气缸位于两个支撑杆之间安装在定位底板上。

进一步的，所述片篮盒包括第一置片板、第二置片板、插片杆、挡片杆，所述第一置片板与第二置片板平行设置，所述第一置片板、第二置片板上对称设有第三U型槽，所述插片杆设有多个，多个所述插片杆对称安装在第一置片板、第二置片板上的第三U槽两侧，所述插片杆内侧竖向设有多个置片凹槽，所述挡片杆设有两个，两个所述挡片杆安装在第一置片板、第二置片板远离第三U型槽开口一端。

进一步的，所述缓冲组件包括旋转气缸、缓冲条、摆杆，所述旋转气缸与摆杆一端连接，所述缓冲条安装在摆杆远离旋转气缸杠杆一端的侧壁上，通过旋转气缸旋转将缓冲条安装在片篮盒内。

进一步的，所述第一置片板、第二置片板远离第三U型槽开口一端分别设有两个第一凹槽，所述缓冲条安装在第一凹槽内。

进一步的，所述缓冲条直径大于插片杆的直径。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种硅片插片入篮机构具有以下优势：