[实用新型]片状放大器洁净控制结构有效
| 申请号： | 202020496536.8 | 申请日： | 2020-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN212264127U | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 李养帅;朱健强;马伟新;周申蕾;张艳丽;王冰艳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B08B17/02 | 分类号： | B08B17/02;B08B15/00;B08B5/04;B08B5/02;H01S3/02;H01S5/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 片状 放大器 洁净 控制 结构 | ||
1.一种片状放大器洁净控制结构，其特征在于，包括进气装置(3)和吸气装置(10)：
所述的进气装置(3)包括气源(1)、开关A(2)、进气管(4)和进气室(5)，所述的气源(1)通过所述的进气管(4)和所述的进气室(5)相连，在所述的进气管(4)上设置所述的开关A(2)，所述的进气室三角形底板沿着边线分布有进气口；
所述的吸气装置(10)包括吸气室(6)、吸气管(7)、开关B(9)和抽气机(8)，所述的抽气机(8)通过所述的吸气管(7)与所述的吸气室(6)相连，在所述的吸气管(7)上设置所述的开关B(9)，所述的吸气室(6)的三角形底板沿着边线分布有吸气口，并且该吸气口与进气室三角形底板上进气口的大小、形状和位置相同；所述的进气装置(3)通过所述的进气室(5)的三角形底板与待洁净的片状放大器的腔体的顶部相连，该待洁净的片状放大器的腔体的底部通过所述的吸气室(6)的三角形底板与所述的吸气装置(10)相连。
2.根据权利要求1所述的片状放大器洁净控制结构，其特征在于所述的进气口或出气口是直径为φD的、均匀分布的圆形孔(5mm≤D≤15mm)，其中心线与对应边线的距离为D1(D1≤10mm)，或者是条形进气口，长条宽度为W(5mm≤W≤10mm)，其中心线与对应边的距离为D2(5mm≤d2≤10mm)。
3.根据权利要求1所述的片状放大器洁净控制结构，其特征在于所述的气源(1)为洁净氮气或洁净空气，纯度≥99.99％。
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