[实用新型]自动插片机移载托片装置

说明书

本实用新型涉及一种自动插片机移载托片装置，包括托片装置和石英舟移载装置，所述托片装置与所述石英舟移载装置的相邻且可将石英舟移载装置中承载的硅片向上托起；通过设置石英舟移载装置实现硅片统一移动至后续工位，移载过程中空的石英舟可以快速取出并换上放满硅片的石英舟，从而提高了工作效率。顶出装置的设置使硅片在被吸取或夹紧时更为稳定，避免硅片在工作过程中损坏，提高了产品的良品率。

技术领域

本实用新型涉及机械自动化设备领域，特别是涉及自动插片机移载托片装置。

背景技术

目前，在太阳能电池扩散制程工艺中，石英舟作为硅片的承载件，用于在石英炉管内进行扩散工艺，其耐受温度可达800℃以上。在该工艺之前需要人工搬运石英舟至扩散炉，工艺完成后再由人工搬出扩散炉，然后再将石英舟上的硅片从石英舟转移至花篮内流转到下一道制程，这种人工转移硅片的方式劳动强度大，费时费力，容易影响硅片的质量，并对石英舟造成污染。

实用新型内容

针对上述现有技术的缺点，本实用新型的目的是提供一种自动插片机移载托片装置。相对于现有技术来说，本实用新型可以实现带有硅片的石英舟自动移载，且设置托片装置使石英舟内部的硅片可被顶出便于夹持工位操作，具有自动化程度高的有点。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

自动插片机移载托片装置，包括托片装置和石英舟移载装置，所述托片装置与所述石英舟移载装置的相邻且可将石英舟移载装置中承载的硅片向上托起；

所述托片装置的具体结构如下：

所述托片装置包括第一直线模组、安装座、竖板、第一固定板及至少一顶板，所述安装座固定在所述第一直线模组的运动端，所述竖板的一端与安装座固接，所述第一固定板连接在竖板的另一端，所述至少一顶板的一端与所述第一固定板固接，在所述至少一顶板的另一端开设至少一第一梳齿；

所述石英舟移载装置的具体结构如下：

包括第二直线模组、至少一组卡紧部及至少一定位部，所述至少一组卡紧部固接在所述第二直线模组的运动端，在靠近卡紧部处、在所述第二直线模组的运动端还固接定位部。

其进一步技术方案在于：

所述卡紧部包括卡块，在所述卡块的表面开设用于卡接石英舟侧板的卡口；所述定位部包括一气缸，所述气缸的活塞与第二固定板连接，在所述第二固定板上连接至少一定位头；

在至少一卡块的一侧还设置至少一传感器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

通过设置石英舟移载装置实现硅片统一移动至后续工位，移载过程中空的石英舟可以快速取出并换上放满硅片的石英舟，从而提高了工作效率。顶出装置的设置使硅片在被吸取或夹紧时更为稳定，避免硅片在工作过程中损坏，提高了产品的良品率。

附图说明

图1示出了本实用新型实施例自动插片机移载托片装置的轴侧图。

图2示出了本实用新型实施例自动插片机移载托片装置中石英舟移载装置的结构示意图Ⅰ。

图3示出了本实用新型实施例自动插片机移载托片装置中石英舟移载装置的结构示意图Ⅱ。

图4示出了本实用新型实施例自动插片机移载托片装置中托片装置的示意图。

图5为图4在A处的放大结构示意图。

附图中标记：