[实用新型]一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台

权利要求书

1.一种基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，包括样品载台(1)，其特征在于：所述样品载台(1)下方设置有横块(2)；所述横块(2)两侧分别设置有导气装置；所述导气装置包括设置于横块(2)侧面且向外延伸的平行设置的两根密封条(3)；所述密封条(3)之间设置有导气管(4)；所述导气管(4)一端延伸至密封条(3)外侧与接口(5)连接；所述接口(5)与导气管(4)连通。

2.根据权利要求1所述的基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，其特征在于：所述密封条(3)下侧设置有密封板(6)；所述密封板(6)向外延伸；所述密封板(6)上表面设置有弧形板(7)；所述弧形板(7)与样品载台(1)紧贴；所述密封板(6)另一端与横块(2)紧贴；所述密封条(3)、密封板(6)、横块(2)以及弧形板(7)之间形成一个密封空腔(8)。

3.根据权利要求2所述的基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，其特征在于：所述导气管(4)上设置有若干个通气孔；所述弧形板(7)上设置有若干个条形凹槽(9)；所述条形凹槽(9)上下两端分别连通密封空腔(8)以及外界。

4.根据权利要求3所述的基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，其特征在于：所述条形凹槽(9)上端侧面从里向外设置有45度的倒角。

5.根据权利要求1所述的基于惰性气体对样品进行防护的扫描电镜样品台，其特征在于：所述接口(5)外侧设置有外螺纹(10)从而与惰性气体的输入气管螺纹连接。