[实用新型]一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置

权利要求书

1.一种用于光学投影光刻机的自动对焦装置，其特征在于，包括激光器、激光能量调节器、扩束器、准直透镜、叉丝、成像透镜、分光棱镜、监视系统透镜、监视系统、二向色镜、电子变焦透镜、投影微缩镜头、感光材料及光刻平台，所述感光材料位于所述光刻平台上，其中：

所述激光器出射的激光光束依次经过所述激光能量调节器、扩束器及准直透镜后得到平行光，所述平行光照射在所述叉丝上，经所述叉丝后携带有叉丝信息的平行光束经过所述成像透镜成像，再经所述分光棱镜投射后到达所述二向色镜，并经所述二向色镜反射后进入所述电子变焦透镜，再经所述投影微缩镜头成像于所述感光材料的表面；

成像于所述感光材料表面的叉丝图像再依次经所述投影微缩镜头及所述电子变焦透镜进入所述二向色镜，再经所述二向色镜反射后进入所述分光棱镜，所述分光棱镜将部分光束反射并经所述监视系统透镜引入所述监视系统；

所述监视系统将获取的图像传输给外部计算机，所述外部计算机多接收的图像进行分析计算图像的离焦量，并根据所述离焦量改变所述电子变焦透镜的焦距，实现对焦。

2.如权利要求1所述的用于光学投影光刻机的自动对焦装置，其特征在于，所述监视系统为图像获取和处理装置，所述图像获取和处理装置用于获取由所述分光棱镜提取的成像图像，并将图像传输给外部计算机进行图像分析。

3.如权利要求1所述的用于光学投影光刻机的自动对焦装置，其特征在于，所述监视系统为图像接收显示屏，所述图像接收显示屏用可将接收的图像呈现给观察者。