[实用新型]一种用于检测激光的装置有效
| 申请号: | 202020444053.3 | 申请日: | 2020-03-31 |
| 公开(公告)号: | CN211477583U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
| 发明(设计)人: | 申伟 | 申请(专利权)人: | 晟宇伟业(北京)科技发展有限公司 |
| 主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01M11/04 |
| 代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 陈超 |
| 地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 检测 激光 装置 | ||
1.一种用于检测激光的装置,其特征在于,包括:
平台(1);
移动部(2),所述移动部(2)设置在所述平台(1)上,被检测激光的发射器固定在所述移动部(2)上,所述移动部(2)用于调整被检测激光的发射器的位置;
质量探测器(4),所述质量探测器(4)设置在所述平台(1)上,用于检测激光束的光斑质量;
能量探测器(5),所述能量探测器(5)设置在所述平台(1)上,用于检测激光束的能量数据。
2.根据权利要求1所述的用于检测激光的装置,其特征在于,
所述移动部(2)包括X轴移动机构,所述X轴移动机构用于带动所述被检测激光的发射器沿X轴进行移动;和/或
所述移动部(2)包括Y轴移动机构,所述Y轴移动机构用于带动所述被检测激光的发射器沿Y轴进行移动;和/或
所述移动部(2)包括Z轴移动机构,所述Z轴移动机构用于带动所述被检测激光的发射器沿Z轴进行移动,所述Z轴移动机构设于所述Y轴移动机构上,所述Y轴移动机构能够带动所述Z轴移动机构沿Y轴进行移动;
其中,所述发射器发射激光方向的直线为所述X轴;在所述平台(1)所在平面内,与所述X轴垂直的直线为所述Y轴;分别与所述X轴和所述Y轴垂直的直线为Z轴。
3.根据权利要求1或2所述的用于检测激光的装置,其特征在于,还包括:衰减片(6);
所述衰减片(6)设置在所述移动部(2)与所述质量探测器(4)之间;和/或
所述衰减片(6)设置在所述移动部(2)与所述能量探测器(5)之间。
4.根据权利要求1或2所述的用于检测激光的装置,其特征在于,还包括:滤波片(7);
所述滤波片(7)设置在所述移动部(2)与所述质量探测器(4)之间;和/或
所述滤波片(7)设置在所述移动部(2)与所述能量探测器(5)之间。
5.根据权利要求1或2所述的用于检测激光的装置,其特征在于,还包括:
分光镜(3),所述分光镜(3)设置在所述平台(1)上,用于将被检测激光分成多束。
6.根据权利要求5所述的用于检测激光的装置,其特征在于,还包括:
光电探测器(11),所述光电探测器(11)设置在所述平台(1)上,用于检测被所述分光镜(3)分出的一条激光束的电学性能。
7.根据权利要求6所述的用于检测激光的装置,其特征在于,还包括:
波长探测器(12),所述波长探测器(12)设置在所述平台(1)上,用于检测被所述分光镜(3)分出的一条激光束的波长。
8.根据权利要求7所述的用于检测激光的装置,其特征在于,还包括:
反射镜(8);所述反射镜(8)设置在所述分光镜(3)与光电探测器(11)之间。
9.根据权利要求8所述的用于检测激光的装置,其特征在于,还包括:
控制器(9),所述控制器(9)分别于所述波长探测器(12)、所述光电探测器(11)、所述质量探测器(4)和所述能量探测器(5)连接,用于获取所述波长探测器(12)、所述光电探测器(11)、所述质量探测器(4)和所述能量探测器(5)测量出的数据。
10.根据权利要求9所述的用于检测激光的装置,其特征在于,所述控制器(9)包括:数据处理单元(91)和显示器(92);
所述数据处理单元(91)整理所述波长探测器(12)、所述光电探测器(11)、所述质量探测器(4)和所述能量探测器(5)测量出的数据,通过所述显示器(92)显示。
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