[实用新型]一种新型硅片喷吹装置有效
| 申请号： | 202020441505.2 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN212554516U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 嵇峰 | 申请（专利权）人： | 江苏晶科天晟能源有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 225800 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 硅片 装置 | ||
1.一种新型硅片喷吹装置，包括硅片切割装置，设置在硅片切割装置上的硅片切割平台，其特征在于，所述硅片切割平台上配合设置有喷吹装置，所述喷吹装置对着硅片切割平台，所述喷吹装置包括左侧移动平台组件和右侧移动平台组件，分别设置在左侧移动平台组件和右侧移动平台组件上的喷吹支架，安装在喷吹支架上的喷吹组件，所述左侧移动平台组件和右侧移动平台组件上的喷吹组件之间相对设置。
2.根据权利要求1所述的一种新型硅片喷吹装置，其特征在于：所述左侧移动平台组件和右侧移动平台组件分别包括固定在硅片切割平台上的固定座，设置在固定座的上的轨道，配合设置在喷吹支架上的导轨，所述导轨配合轨道设置。
3.根据权利要求1所述的一种新型硅片喷吹装置，其特征在于：所述喷吹支架包括呈四边形设置的框架，设置在框架顶部的进液口，设置在框架中心位置的框架工作部，所述框架工作部处设置有喷吹组件；喷吹组件与进液口处连接。
4.根据权利要求1所述的一种新型硅片喷吹装置，其特征在于：所述喷吹组件包括若干组喷吹管道，喷吹管道包括喷吹长管道和喷吹短管道，喷吹长管道和喷吹短管道之间交错设置。
5.根据权利要求3所述的一种新型硅片喷吹装置，其特征在于：所述框架上的进液口设置有两排并包括前排进口和后排进口；前排进口与喷吹长管道之间连接，后排进口与喷吹短管道之间连接。
6.根据权利要求4或5所述的一种新型硅片喷吹装置，其特征在于：所述喷吹长管道和喷吹短管道上的管道均采用弹性弯管制成。
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