[实用新型]接触式厚度测量装置及使用该装置的系统有效
| 申请号: | 202020436270.8 | 申请日: | 2020-03-30 |
| 公开(公告)号: | CN212082277U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
| 发明(设计)人: | 叶胜钱;周新聊;李涛;夏滨;张生海;田勇;杨海明 | 申请(专利权)人: | 北京二十一世纪科技发展有限公司 |
| 主分类号: | G01B7/06 | 分类号: | G01B7/06 |
| 代理公司: | 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 | 代理人: | 杨中鹤 |
| 地址: | 100096 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 接触 厚度 测量 装置 使用 系统 | ||
1.一种接触式厚度测量装置,其特征在于,包括第一卡件、第二卡件、伸缩部、第一导向部、第二导向部、基座部以及位移传感部,所述伸缩部的其中一个伸缩端用于驱动所述第一卡件沿所述第一导向部运动,所述伸缩部的另一个伸缩端用于驱动所述第二卡件沿所述第二导向部运动,所述第一卡件与所述第二卡件的相对运动方向平行于所述伸缩部的伸缩方向,所述第一卡件与所述第二卡件之间形成测量口,所述基座部用于为所述第一导向部和所述第二导向部提供支撑,所述位移传感部用于测量所述伸缩部的位移量。
2.根据权利要求1所述的接触式厚度测量装置,其特征在于,所述伸缩部沿竖向方向伸缩,所述第二卡件位于所述第一卡件的正上方。
3.根据权利要求2所述的接触式厚度测量装置,其特征在于,所述第一卡件通过所述伸缩部的上伸缩端驱动,所述第二卡件通过所述伸缩部的下伸缩端驱动。
4.根据权利要求3所述的接触式厚度测量装置,其特征在于,所述第一导向部包括第一活动部和第一固定部,所述第一活动部与第一固定部活动卡接以带动所述第一卡件相对于所述第一固定部竖向运动,所述第二导向部包括第二活动部与第二固定部,所述第二活动部与所述第二固定部活动卡接以带动所述第二卡件相对于所述第二固定部竖向运动。
5.根据权利要求4所述的接触式厚度测量装置,其特征在于,所述第一固定部为设置在所述基座部上的导向杆,所述第一活动部为与所述第一卡件连接的连接块,所述连接块上开设有与所述导向杆匹配的第一导向孔,所述第二活动部为与所述第二卡件连接的连接杆,所述第二固定部为开设在所述连接块上且与所述连接杆相匹配的第二导向孔。
6.根据权利要求5所述的接触式厚度测量装置,其特征在于,所述伸缩部为气缸,所述气缸的上伸缩端与第一卡件连接,所述气缸的下伸缩端与所述连接杆连接。
7.根据权利要求5所述的接触式厚度测量装置,其特征在于,所述位移传感部为磁致伸缩位移传感器,包括本体和可在本体上滑动的磁环,所述本体通过第一连接件与所述连接杆连接,所述磁环通过第二连接件与所述连接块连接。
8.根据权利要求1所述的接触式厚度测量装置,其特征在于,所述第二卡件和第一卡件上均连接有可与被测物体接触的滚轮。
9.一种接触式厚度测量系统,其特征在于,包括横梁、水平驱动部、支撑底座以及多个如权利要求1至8任意一项所述的接触式厚度测量装置,多个所述接触式厚度测量装置通过基座部均布在所述横梁上,所述横梁通过水平驱动部在所述支撑底座上沿水平方向运动。
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