[实用新型]用于化学药液桶的连接装置

说明书

本实用新型公开了一种用于化学药液桶的连接装置，包括壳体，壳体上设置有与化学药液桶螺纹匹配的螺纹凹槽，壳体上贯穿的布置有高压气管和出液管，所述出液管延伸至化学药液桶的底部，高压气管上连接有动力机构；相比于传统的方式而言，本实用新型减少了缓存桶的转运环节，避免了化学药液对人体造成伤害和化学药液易被污染的情况发生；同时，本装置结构简单、操作方便、拆装快速、可重复利用，降低了生产成本，提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及掩膜版制造技术领域，尤其是一种用于化学药液桶的连接装置。

背景技术

掩膜版又称光掩膜版、光罩，由石英玻璃作为基板衬底，首先在石英玻璃基板上镀上一层金属铬层，然后在铬层上面涂覆光刻胶使其成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备使光刻胶感光，被曝光的区域通过显影、蚀刻在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模母版。掩膜版是LCD等面板生产过程中不可或缺的重要部件，LCD面板厂用掩膜版进行曝光以获取其需求图形。

在掩膜版涂胶过程中，由于光刻胶具有很强的挥发性，在刮涂过程中留在刀口的光刻胶会很快结块，因此会用相应的化学药液来对刀口进行清理；此外，在旋涂过程中，有大部分光刻胶会因为离心力的作用被甩出掩膜版，甩到涂胶机腔体转盘及卡盘盖子上，这些被甩出的光刻胶也需要用到特定的化学药剂进行清理。

目前的清理步骤为：将化学药液桶内的化学药液转运到缓存桶中，通过气压将缓存桶中的化学药液压送至待清理的地方对光刻胶进行清理。将化学药液桶内的化学药液转运到缓存桶中主要有两种方式：一种为人工方式，通过人手动将化学药液倒入对应的缓存桶中，由于部分化学药液存在很强的挥发性或腐蚀性，会对人体的呼吸系统或皮肤等造成巨大危害；另一种选用不锈钢或其它材质的耐腐蚀抽液器抽到缓存桶中，由于所用化学药液的洁净度要求都是工业电子级别，抽取器在使用过程中存在产尘的现象，该方式可能会对化学药液造成二次污染；此外，抽液器在使用结束后，器内壁会残留少许的化学药液，又需要其它对应的化学药液来对抽液器进行清洗，过程复杂且易对生产环境造成污染。

实用新型内容

本实用新型为解决传统对于光刻胶清理效率低和化学药液易被污染的技术问题是提供一种用于化学药液桶的连接装置。

本实用新型所采用的技术方案是：用于化学药液桶的连接装置，包括壳体，壳体上设置有与化学药液桶螺纹匹配的螺纹凹槽，壳体上贯穿的布置有高压气管和出液管，所述出液管延伸至化学药液桶的底部，高压气管上连接有动力机构。

本实用新型将连接装置直接安装在与其匹配的化学药液桶的开口上，通过高压气管向化学药液桶内通入高压气体，使化学药液桶内存在一定压力，进而将桶内的化学药液通过出液管排出到指定位置对光刻胶进行清理；相比于传统的方式而言，本实用新型减少了缓存桶的转运环节，避免了化学药液对人体造成伤害和化学药液易被污染的情况发生；同时，本装置结构简单、操作方便、拆装快速、可重复利用，降低了生产成本，提高了生产效率。

进一步的是，还包括力矩机构，所述力矩机构包括围合壳体布置的U形力矩件和力矩杆，所述力矩件一端内侧布置有凸柱，另一端布置有螺纹通孔，力矩杆上设置有螺纹，力矩杆通过螺纹通孔与力矩件连接，壳体上布置有与凸柱匹配的卡槽。将力矩机构与壳体进行连接，并通过力矩机构旋拧壳体。相比于直接旋拧壳体的方式而言，本实用新型通过力矩机构旋拧壳体更加省力，拧的更紧，有效保证了化学药液桶的密封性，避免化学药液桶漏气的情况发生。

进一步的是，力矩杆穿过所述螺纹通孔并延伸至壳体内部，增加了受力点，进一步保证力矩机构旋拧过程的稳定性。

进一步的是，所述壳体与力矩机构相连的两端设置有与力矩件匹配的平口，使壳体和力矩机构贴合更加紧密，更加方便力矩机构旋拧。

进一步的是，所述力矩杆上设置有防滑凸起，起到防滑作用。

进一步的是，所述螺纹凹槽内布置有密封圈，保证化学药液桶的密封性，避免化学药液桶漏气。