[实用新型]衬底键合用对准定位夹具

权利要求书

1.一种衬底键合用对准定位夹具，包括底座(1)，在所述底座(1)的上方设置用于间隔两个待键合衬底(10)的夹具体组件，在所述夹具体组件的内圈设置用于支撑衬底(10)的下压头(4)；其特征是：

在所述下压头(4)上设置弹性销组，在所述下压头(4)的外侧设置弹性阻尼旋转机构(11)，所述弹性阻尼旋转机构(11)装配于底座(1)上；所述弹性销组包括衬底切边弹性销(8)以及设置于衬底切边弹性销(8)两侧的衬底外缘弹性销(9)；衬底(10)支撑于下压头(4)上时，衬底切边弹性销(8)能与衬底(10)的切边对应，衬底外缘弹性销(9)位于衬底(10)的外缘外侧；

所述弹性阻尼旋转机构(11)包括衬底挡片(18)以及与所述衬底挡片(18)适配的挡片连接体，所述衬底挡片(18)通过挡片连接体能在底座(1)上方转动，衬底挡片(18)转动后能与衬底(10)的外缘接触，衬底挡片(18)与衬底(10)外缘的紧密接触区位于衬底切边弹性销(8)的正对侧；通过衬底挡片(18)与衬底(10)外缘的紧密接触，能使得衬底(10)的切边与衬底切边弹性销(8)靠齐，且衬底(10)的外缘与衬底外缘弹性销(9)紧密接触，以将衬底(10)锁定在下压头(4)上。

2.根据权利要求1所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：在下压头(4)上设置两个衬底切边弹性销(8)；在下压头(4)的正上方设置上压头(41)，通过上压头(41)与下压头(4)配合，能将下压头(4)上两块正对准的衬底(10)压紧贴合；在将两块衬底(10)压紧贴合时，上压头(41)能将弹性销组以及衬底挡片(18)向靠近底座(1)的方向压缩。

3.根据权利要求1或2所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：所述挡片连接体包括底座连接板(13)以及设置于所述底座连接板(13)上的挡片连接套筒(15)，挡片连接套筒(15)通过底座连接板(13)能安装于底座(1)上；

在所述挡片连接套筒(15)内设置挡片套筒弹簧(20)以及位于所述挡片套筒弹簧(20)上方的挡片导向轴(17)，衬底挡片(18)通过台阶螺丝(19)固定于挡片导向轴(17)位于挡片连接套筒(15)外的端部，挡片导向轴(17)位于挡片连接套筒(15)内的下部套有导向轴衬套(21)，在挡片连接套筒(15)的外壁上设置用于锁定导向轴衬套(21)的衬套锁定螺丝(16)，挡片导向轴(17)在挡片连接套筒(15)内向靠近挡片套筒弹簧(20)运动时，能压缩所述挡片套筒弹簧(20)，且挡片导向轴(17)能相对挡片连接套筒(15)运动。

4.根据权利要求3所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：挡片导向轴(17)位于挡片连接套筒(15)内的端部设置轴挡块(22)，所述轴挡块(22)通过轴挡块连接螺丝(23)固定在挡片导向轴(17)的端部，挡片导向轴(17)通过轴挡块(22)能与挡片套筒弹簧(20)接触配合。

5.根据权利要求1所述的衬底键合用对准定位夹具，其特征是：所述夹具体组件包括夹具环板(7)以及设置于所述夹具环板(7)上的衬底间隔调节机构，所述衬底间隔调节机构包括用于间隔衬底(10)的衬底垫片(25)以及用于调节衬底垫片(25)位置状态的垫片位置调节机构，衬底垫片(25)位于两衬底(10)之间时，能对衬底(10)进行间隔，通过衬底间隔调节机构能拉动衬底垫片(25)从衬底(10)间退出。