[实用新型]单晶炉热屏移动车有效
申请号: | 202020423944.0 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN212077195U | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 闫龙;魏兴彤 | 申请(专利权)人: | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人: | 孙彦虎 |
地址: | 750021 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉热屏 移动 | ||
一种单晶炉热屏移动车,涉及热屏辅助设备技术领域,以移动热屏,包括由上至下依次固定连接的放置板、支撑部、移动轮,放置板水平设置,且开设有放置孔,放置孔的直径大于热屏底部的直径、小于热屏顶部的直径,以使热屏由上至下插入放置孔内,进而使热屏的顶部与放置板搭接固定;支撑部将放置板抬高,以使热屏的底部远离地面且悬空。热屏放置在本装置上后使得热屏底部悬空,并与地面保持一定距离,防止本装置在移动过程中不会与热屏底部发生撞击,也不会因此减少热屏的使用寿命;支撑部的高度除了保证热屏悬空外,还将热屏底部与地面之间预留25mm的距离,保证在操作人员忘记取下石英针的情况下,不会使石英针撞击到地面,保护石英针。
技术领域
本实用新型涉及热屏辅助设备技术领域,具体涉及一种单晶炉热屏移动车。
背景技术
在拉晶结束后,热屏需要从单晶炉上取出至清炉车上进行清理。随着生产需要和产品的需求,现在需要在热屏的底部加装石英针,在热屏使用完毕后,操作人员往往因忘记取下石英针直接将带有石英针的热屏放置在清炉车上,导致热屏底部的石英针与清炉车底部撞击而断裂,损失石英针,并且清炉车移动过程中,热屏的底部与清炉车也会发生撞击,导致热屏内部产生应力,减少热屏使用寿命。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种防止石英针及热屏底部发生撞击的单晶炉热屏移动车。
一种单晶炉热屏移动车,以移动热屏,包括由上至下依次固定连接的放置板、支撑部、移动轮,放置板水平设置,且开设有放置孔,放置孔的直径大于热屏底部的直径、小于热屏顶部的直径,以使热屏由上至下插入放置孔内,进而使热屏的顶部与放置板搭接固定;支撑部将放置板抬高,以使热屏的底部远离地面且悬空,支撑部的高度超过热屏高度25mm。
优选的,单晶炉热屏移动车还包括手推部,手推部设置在放置板的上方且两者固定连接,以使操作人员通过手推部推移热屏。
优选的,放置板还包括缓冲环,缓冲环设置在放置孔的边缘一圈,以缓冲热屏与放置板之间的撞击力。
优选的,支撑部为预定数量的支撑杆。
优选的,支撑部为预定数量的伸缩杆,以调节放置板与地面的距离,进而调节热屏底部与地面的距离,支撑部的最低高度超过热屏高度25mm。
优选的,移动轮为万向轮,且数量与支撑部相同,每一个支撑部固定连接一个移动轮。
优选的,支撑部与放置板垂直。
优选的,手推部与操作人员接触的部分为手柄,以便于操作人员手握施力,手推部与支撑部的高度和为1~1.5米。
本实用新型采用上述技术方案,其有益效果在于:热屏放置在本装置上后使得热屏底部悬空,并与地面保持一定距离,防止本装置在移动过程中不会与热屏底部发生撞击,也不会因此减少热屏的使用寿命;一般石英针的平均长度为25mm,支撑部的高度除了保证热屏悬空外,还将热屏底部与地面之间预留25mm的距离,保证在操作人员忘记取下石英针的情况下,石英针跟随热屏一同放置在本装置上时,不会使石英针撞击到地面,保护石英针。
附图说明
图1为单晶炉热屏移动车的结构示意图。
图2为单晶炉热屏移动车另一个角度的结构示意图。
图3为单晶炉热屏移动车与热屏配合的结构示意图。
图4为图3一个角度的剖视图。
图5为图4中A的局部放大图。
图中:单晶炉热屏移动车10、热屏20、放置板101、放置孔1011、支撑部102、移动轮103、手推部104、加固架105。
具体实施方式
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