[实用新型]一种100片花篮整体槽板结构有效
申请号: | 202020423381.5 | 申请日: | 2020-03-29 |
公开(公告)号: | CN211605114U | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 宋文 | 申请(专利权)人: | 无锡旭邦精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人: | 戴丽伟 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 100 花篮 整体 板结 | ||
本实用新型涉及对硅片花篮的结构改进,具体为一种100片花篮整体槽板结构,包括槽板多个和铝合金芯棒一,所述槽板在铝合金芯棒一上注塑成型,所述槽板上设有槽板齿,还包括铝合金芯棒二和端板,所述铝合金芯棒一为空心状,所述铝合金芯棒二穿过空心铝合金芯棒一,所述铝合金芯棒二两端设有定位圆柱,所述定位圆柱与端板插接,在硅片花篮需要在产线中不停周转使用时,每一个100片花篮整体槽板结构上中铝合金芯棒一上可以注塑多个槽板,此结构可减少花篮配件,提高花篮载体的整体强度,在使用中不会出现花篮载体松动的变形问题,而在整体强度上也有了很大的提升,从而提高生产效率及降低了花篮载体的消耗速度,降低硅片花篮消耗成本。
技术领域
本实用新型涉及对硅片花篮的结构改进,具体为一种100片花篮整体槽板结构。
背景技术
硅片生产厂家为满足市场需求,不断扩大生产车间及提高生产产能,提高设备运行效率,尽量控制每个生产环节最大效率,从而确保行业内占有比例,由于硅片产能的提高,伴随着对硅片花篮载体的需求量更大,现有的花篮载体中,硅片花篮载体需要在产线中不停流转回用,满足生产需求。
由于流转回用的花篮整体采用单独零件安装结构,现每个花篮载体有12个以上配件组装而成,每个配件组装采用螺丝固定,在产线流转过程中会出现零件松动,而硅片作为载体安装在硅片花篮中时,会由于花篮载体精度的偏差而出现卡片、碎片等异常情况。
综上所述,可以看出现有技术的花篮载体零配件多,当出现花篮载体摔落或碰撞的情况时,花篮载体很变形或损坏,导致承载硅片容易破、卡片等情况。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题克服现有的缺陷,提供一种100片花篮整体槽板结构。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:一种100片花篮整体槽板结构,包括槽板1多个和铝合金芯棒一,所述槽板在铝合金芯棒一上注塑成型,所述槽板上设有槽板齿,还包括铝合金芯棒二和端板,所述铝合金芯棒一为空心状,所述铝合金芯棒二穿过空心铝合金芯棒一,所述铝合金芯棒二两端设有定位圆柱,所述定位圆柱与端板插接。
作为优选,还包括铝合金芯棒三,所述铝合金芯棒三的两端分别与端板连接。
作为优选,所述铝合金芯棒三的两端分别与端板连接具体是指铝合金芯棒三的两端处设有螺纹,铝合金芯棒三的端部穿过端板后与限位螺栓螺接。
作为优选,所述铝合金芯棒一上设有便于注塑过程中槽板收缩尺寸的加工圆环。
作为优选,所述槽板高度为8mm。
作为优选,相邻槽板的间距为4.76±0.01mm。
本实用新型有益效果:本实用新型的一种100片花篮整体槽板结构,在硅片花篮需要在产线中不停周转使用时,每一个100片花篮整体槽板结构上中铝合金芯棒一上可以注塑多个槽板,可容下100片硅片,可避免在使用过程中,出现的停机待机等情况,而耽误生产的产能,此结构可减少花篮配件,提高花篮载体的整体强度,在使用中不会出现花篮载体松动的变形问题,而在整体强度上也有了很大的提升,从而提高生产效率及降低了花篮载体的消耗速度,降低硅片花篮消耗成本。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。
图1是本实用新型的100片花篮整体槽板结构的槽板结构示意图;
图2是本实用新型的100片花篮整体槽板结构的铝合金芯棒一的局部放大示意图;
图3是本实用新型的100片花篮整体槽板结构的结构示意图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造