[实用新型]快速均匀的晶圆烘干装置

权利要求书

1.快速均匀的晶圆烘干装置，包括固定烘干外箱(1)，其特征在于，所述固定烘干外箱(1)的内部设有移动烘干架(2)，所述移动烘干架(2)的一侧竖直内壁上固定安装有第一晶圆托板(3)，所述移动烘干架(2)的另一侧竖直内壁上固定安装有第二晶圆托板(4)，所述移动烘干架(2)靠近第一晶圆托板(3)的一侧壁底部位置开设有第一进风口(5)，所述移动烘干架(2)靠近第二晶圆托板(4)一侧壁顶部位置开设有第一出风口(6)，所述固定烘干外箱(1)的一侧外壁底部位置固定安装有热风机(7)，所述固定烘干外箱(1)的内表面开设有烘干腔(8)，所述第一晶圆托板(3)与第二晶圆托板(4)结构一致，所述第一晶圆托板(3)的内表面开设有晶圆存放槽(9)，所述晶圆存放槽(9)上设有晶圆托块(10)，所述固定烘干外箱(1)包括不锈钢外壳(11)和不锈钢内壳(12)，且不锈钢外壳(11)与不锈钢内壳(12)之间设有保温层(13)，所述移动烘干架(2)的下表面固定连接有轮架(14)，所述轮架(14)的下端活动安装有滑轮(15)。

2.根据权利要求1所述的快速均匀的晶圆烘干装置，其特征在于，所述保温层(13)由岩棉保温板制成。

3.根据权利要求1所述的快速均匀的晶圆烘干装置，其特征在于，所述固定烘干外箱(1)靠近第一进风口(5)的内壁上开设有第二进风口(16)，所述固定烘干外箱(1)靠近第一出风口(6)的内壁上开设有第二出风口(17)，所述第一进风口(5)与第二进风口(16)相连通，所述第一出风口(6)与第二出风口(17)相连通。

4.根据权利要求1所述的快速均匀的晶圆烘干装置，其特征在于，所述烘干腔(8)的底部设有滑轮槽(18)，且滑轮槽(18)与所述滑轮(15)相适配。

5.根据权利要求1所述的快速均匀的晶圆烘干装置，其特征在于，所述固定烘干外箱(1)的顶部外壁前端位置通过铰链活动铰接有密封门(19)。

6.根据权利要求1所述的快速均匀的晶圆烘干装置，其特征在于，所述移动烘干架(2)的前侧外壁固定连接有拉柄(20)，且拉柄(20)的外表面固定套接有防滑套(21)。