[实用新型]一种多晶硅废气处理装置及多晶硅废气深冷处理装置

权利要求书

1.一种多晶硅废气深冷处理装置，其特征在于，包括：

缓冲罐(1)，所述缓冲罐(1)上设置有压力变送器(2)；

一级换热器(3)，所述一级换热器(3)的第一进口与所述缓冲罐(1)连通，所述一级换热器(3)的第一出口通过第一管路与淋洗塔连接，所述第一管路上设置有第一电控调压阀(4)，所述第一电控调压阀(4)与所述压力变送器(2)通信连接；

二级换热器(5)，所述二级换热器(5)的第二进口与所述一级换热器(3)的第二出口连通，用于所述一级换热器(3)冷却后的氯甲烷，所述二级换热器(5)的第二出口与所述一级换热器(3)的第二进口连通用于向所述一级换热器(3)输入温度较低的氯甲烷，所述二级换热器(5)的第三出口用于输出冷却后的氯甲烷。

2.根据权利要求1所述的多晶硅废气深冷处理装置，其特征在于，还包括与所述第一管路并联的第二管路，所述第二管路上设置有第二电控调压阀(6)，所述第二电控调压阀(6)与所述压力变送器(2)通信连接。

3.根据权利要求1所述的多晶硅废气深冷处理装置，其特征在于，所述二级换热器(5)上设置有两个所述第三出口，两个所述第三出口分别位于所述二级换热器(5)的上端和下端。

4.根据权利要求2所述的多晶硅废气深冷处理装置，其特征在于，所述第一电控调压阀(4)的通径大于所述第二电控调压阀(6)的通径。

5.根据权利要求1所述的多晶硅废气深冷处理装置，其特征在于，还包括集水箱(7)，所述集水箱(7)与所述一级换热器(3)和所述二级换热器(5)均连通。

6.根据权利要求5所述的多晶硅废气深冷处理装置，其特征在于，所述集水箱(7)与所述缓冲罐(1)连通。

7.根据权利要求5所述的多晶硅废气深冷处理装置，其特征在于，还包括与所述集水箱(7)连通的水泵(8)。

8.一种多晶硅废气处理装置，其特征在于，包括多晶硅废气深冷处理装置和淋洗塔，所述淋洗塔与所述多晶硅废气深冷处理装置的一级换热器(3)连接，所述多晶硅废气深冷处理装置为权利要求1-7中任意一项所述的多晶硅废气深冷处理装置。