[实用新型]一种薄膜器件有效
| 申请号： | 202020390281.7 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN212770478U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 四川猛犸半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36;C03C27/12;B32B17/10 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 644000 四川省宜宾市临港经开*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 器件 | ||
【权利要求书】：
1.一种薄膜器件，包括依次向上层叠的基板、底层电介质膜层、膜层组件和保护膜层，所述膜层组件包括沿基板向上依次层叠的银膜层、牺牲膜层和电介质膜层，或所述膜层组件包括沿基板向上依次层叠的牺牲膜层、银膜层和电介质膜层，其特征在于：所述膜层组件还包括AgLa膜层，所述AgLa膜层层叠在牺牲膜层与电介质膜层之间；或所述AgLa膜层层叠在银膜层下面；或所述AgLa膜层层叠在牺牲膜层与电介质膜层之间，同时所述AgLa膜层还层叠在银膜层下面。
2.根据权利要求1所述的薄膜器件，其特征在于：所述AgLa膜层的厚度为0.05-10nm。
3.根据权利要求1所述的薄膜器件，其特征在于：所述牺牲膜层的厚度为0.1-8nm。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的薄膜器件，其特征在于：所述膜层组件的数量为两个，两个膜层组件依次层叠设置。
5.根据权利要求1-3任意一项所述的薄膜器件，其特征在于：所述膜层组件的数量为三个，三个膜层组件依次层叠设置。
6.根据权利要求1-3任意一项所述的薄膜器件，其特征在于：所述膜层组件的数量为四个，四个膜层组件依次层叠设置。
7.根据权利要求1-3任意一项所述的薄膜器件，其特征在于：该薄膜器件用于制作成夹层薄膜器件或中空薄膜器件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川猛犸半导体科技有限公司，未经四川猛犸半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202020390281.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
