[实用新型]曝光数据曝光位置的定位系统有效
申请号: | 202020384947.8 | 申请日: | 2020-03-24 |
公开(公告)号: | CN212846348U | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 郑军明 | 申请(专利权)人: | 田菱智能科技(昆山)有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 数据 位置 定位 系统 | ||
1.曝光数据曝光位置的定位系统,包括工作台、PLC控制器、驱动组件、带有气动夹块的移动基板、曝光头、计算机设备,其特征在于,所述驱动组件包括用于驱动移动基板沿着Y轴方向移动的Y轴伺服模组、用于驱动曝光头沿着X轴方向移动的X轴伺服模组,所述曝光头、气动夹块、Y轴伺服模组和X轴伺服模组均与PLC控制器通过电缆与PLC控制器的输出接口连接,所述计算机设备内部安装有网版参数输入系统,所述计算机设备通过电缆与PLC控制器的输入接口连接。
2.根据权利要求1所述的曝光数据曝光位置的定位系统,其特征在于,还包括工作台,所述工作台的上表面剖设开槽,所述Y轴伺服模组固定在开槽的底部表面。
3.根据权利要求2所述的曝光数据曝光位置的定位系统,其特征在于,所述工作台的背部上方设有大理石横梁,所述X轴伺服模组固定在大理石横梁前侧表面。
4.根据权利要求1所述的曝光数据曝光位置的定位系统,其特征在于,所述气动夹块的数量设有多个,且对称分布于移动基板的两个侧边。
5.根据权利要求1所述的曝光数据曝光位置的定位系统,其特征在于,所述网版参数输入系统包括网版宽度名称模块、板宽输入模块、板长输入模块、板厚输入模块、左边距输入模块、右边距输入模块、上边距输入模块、下边距输入模块和曝光偏移量输入模块。
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