[实用新型]一种组合式氦检漏仪装置

权利要求书

1.一种组合式氦检漏仪装置，包括氦质谱检漏仪(1)、冷阱(2)、真空泵(3)、配电箱(4)与移动式框架小车(5)，其特征在于，所述氦质谱检漏仪(1)、所述冷阱(2)、所述真空泵(3)与所述配电箱(4)之间通过金属软管(6)、快速连接法兰(7)与直角阀(8)连接并置于所述移动式框架小车(5)内，所述冷阱(2)下方的进口处设有用于去除气体中的颗粒物的过滤器(10)，所述氦质谱检漏仪(1)上设有用于气压测量的真空计(9)。

2.根据权利要求1所述的一种组合式氦检漏仪装置，其特征在于，所述氦质谱检漏仪(1)上设有用于显示各类数据的LED显示屏(101)。

3.根据权利要求1所述的一种组合式氦检漏仪装置，其特征在于，所述冷阱(2)为液氮冷阱。

4.根据权利要求1所述的一种组合式氦检漏仪装置，其特征在于，所述真空泵(3)为旋片式真空泵且其极限真空度可达到1x10^-3mbar，抽气量0-350m³/h、工作温度为大于等于0°且小于等于40°。

5.根据权利要求1所述的一种组合式氦检漏仪装置，其特征在于，所述过滤器(10)为Y型管道过滤器。

6.根据权利要求1所述的一种组合式氦检漏仪装置，其特征在于，所述真空计(9)为电子真空计且其测量范围为大于等于5x10^-4mbar且小于等于1x10³mbar、测量精度为±5％-±15％，所述电子真空计上设有用于读数的显示器(901)。

7.根据权利要求1所述的一种组合式氦检漏仪装置，其特征在于，所述移动式框架小车(5)分为上层(501)与下层(502)，所述上层(501)设有所述氦质谱检漏仪(1)与所述冷阱(2)，下层(502)设有所述真空泵(3)与所述配电箱(4)。

8.根据权利要求7所述的一种组合式氦检漏仪装置，其特征在于，所述移动式框架小车(5)底部设置有便于整车移动的滑轮(503)。