[实用新型]一种晶圆盒

说明书

本实用新型公开了一种晶圆盒，包括定位杆和锁扣，定位杆通过锁扣固定在晶圆盒内，定位杆具有与传感器感应的感应区，感应区设有浅槽。本实用新型降低了因晶圆盒的放置异常，导致传送过程出现撞片，进而导致产品和设备硬件报废的风险。

技术领域

本实用新型属于半导体生产治具，特别涉及一种晶圆盒。

背景技术

在半导体的制程中，晶圆大多需要经过许多道的加工工艺制程，不可避免的需要将晶圆从晶圆盒里传入或者传出进行操作（俗称“传片”）。例如在等离子增强化学气相沉积时，当沉积完成后，需要将晶圆传送至晶圆盒中以便进行下一道工序。

如图1和图2所示，晶圆盒10，其具有定位杆11和锁扣12，由Noveluss公司生产的Noveluss C1等离子增强化学气相沉积设备20，其具有传感器21和定位勾22。使用时，先利用锁扣12将定位杆11固定在晶圆盒10内，然后将晶圆盒10放入化学气相沉积设备20中，使得定位杆11卡入定位勾22中，则晶圆盒10固定完毕，定位杆11上具有感应区（与传感器21进行信息反馈的区域），通过传感器21和定位杆11相互感应，由传感器21（通常使用光反射式传感器，例如由Noveluss公司生产的传感器，型号为Harness Assy Sensor 26.5）感应晶圆盒10是否放置到位，当传感器21感应晶圆盒10到位了，化学气相沉积设备20就开始传片。

但是，由于传感器21的灵敏度较高，存在晶圆盒10摆放不到位情况下，传感器21仍能感应到的情况。此时如开始传片，可导致取片异常或者机械手撞片的情况发生，导致晶圆损坏或者设备硬件报废，造成损失，浪费人力和物力。

又如图3所示，传感器21与定位杆11之间的间距a的数值恒定，而不同设备间的传感器灵敏度存在差异，恒定的间距是无法调整，也存在适配度的问题。

因此，本发明人对此做进一步研究，研发出一种晶圆盒，本案由此产生。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种晶圆盒，减小因晶圆盒放置异常，导致传送过程出现撞片，进而导致产品和设备硬件报废的风险。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术解决方案是：

一种晶圆盒，包括定位杆和锁扣，定位杆通过锁扣固定在晶圆盒内，定位杆具有与传感器感应的感应区，感应区设有浅槽。

进一步，定位杆的横截面为圆形，浅槽的深度为圆直径的10%-35%。

进一步，定位杆和锁扣螺纹连接。

进一步，旋转定位杆调节传感器与浅槽之间的距离。

采用在晶圆盒定位杆上开浅槽的方案后，本实用新型可通过定位杆的浅槽，增加了传感器与定位杆之间的距离，使晶圆盒必须放置到位，传感器才可侦测到，而且也可通过旋转定位杆，对传感器与定位杆间距离进行微调，克服不同设备间传感器灵敏度差异的问题。

附图说明

图1是现有晶圆盒放入化学气相沉积设备的示意图一；

图2是现有晶圆盒放入化学气相沉积设备的示意图二；

图3是现有传感器与定位杆之间的间距示意图；

图4是本实用新型晶圆盒放入化学气相沉积设备的示意图一；

图5是本实用新型晶圆盒放入化学气相沉积设备的示意图二；

图6是本实用新型传感器与定位杆之间的间距示意图；

图7是本实用新型定位杆旋转后传感器与定位杆之间的间距示意图；

图8是本实用新型浅槽的剖视图。

标号说明