[实用新型]一种三氟甲烷的纯化装置

说明书

本实用新型公开了一种三氟甲烷的纯化装置，属于三氟甲烷纯化领域，包括装置本体，装置本体包括排液管、进液管、反应罐、储液罐、进气管以及排气管，反应罐与排液管、进液管、进气管以及排气管连通连接；进液管以及排液管与储液罐连通，进液管位于反应罐的上方，进液管的一部分伸入反应罐，且配置有雾化喷头，进气管位于反应罐的底部，且进气管伸入反应罐的一部分配置有蘑菇喷气装置；三氟甲烷从进气管通过蘑菇喷气装置排出形成若干个气泡，在反应罐的反应液体中反应后离开反应液体，由于进液管的雾化喷头的设置，使得离开液体的三氟甲烷在雾化的反应液体中进行二次充分反应，随即从排气管中排出收集即可，使得三氟甲烷的纯化反应可以充分反应。

技术领域

本实用新型涉八氟环丁烷制备领域，尤其涉及一种三氟甲烷的纯化装置。

背景技术

在现今社会，超大规模集成电路、平板显示器、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业蓬勃发展，而被广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散、清洗等工艺的电子气体是上述工业不可缺少的原料。随着电子消费品的升级换代，产品制造尺寸越来越大，产品合格率和缺陷控制越来越严格，整个电子工业对电子气体气体纯度的要求也越来越高。

高纯度三氟甲烷也是重要的电子材料电子材料刻蚀和清洗剂。但用作电子刻蚀剂和清洗剂对三氟甲烷纯度要求很高，需要加大提纯、回收技术的研发力度。氮化镓(GaN)是一种广泛应用于制造蓝光、紫光和白光二极管、紫外线监测器和高功率微波晶体管的材料。

鉴于三氟甲烷生产过程的特点，会产生一些酸性气体如氟化氢、氯化氢等，可用清水、碱性或者还原性溶液吸收去除，现有纯化技术中，采用分子筛吸附工艺气体中的水份及二氧化碳，由于吸附过程中分子筛对工艺气体也有吸附作用，并且过程中伴随着大量的热量，因此，纯化效率较低，工艺气体损失较多。

目前纯化装置中效率低不能同时吸收二氧化碳和水分，所以设计一款能同时吸收三氟甲烷中的二氧化碳以及水分，且使得纯化的反应充分，且可以使得纯化效率提高的纯化装置是关键。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题在于提出一种三氟甲烷的纯化装置。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供的一种三氟甲烷的纯化装置，包括装置本体，所述装置本体包括排液管、进液管、反应罐、储液罐、进气管以及排气管，所述反应罐与所述排液管、所述进液管、所述进气管以及所述排气管连通连接；所述进液管以及所述排液管与所述储液罐连通，且所述储液罐内储存反应液体；所述反应罐的三分之一至二分之一的空间内装有反应液体；所述进液管位于所述反应罐的上方，所述进液管的一部分伸入所述反应罐，且配置有雾化喷头，所述雾化喷头位于所述反应罐的内部上方；所述进气管位于所述反应罐的底部，且所述进气管伸入所述反应罐的一部分配置有蘑菇喷气装置；三氟甲烷从所述进气管通过所述蘑菇喷气装置排出形成若干个气泡，在所述反应罐的反应液体中反应后离开反应液体，由于所述进液管的所述雾化喷头的设置，使得离开液体的三氟甲烷在雾化的反应液体中进行二次充分反应，随即从所述排气管中排出收集即可，使得三氟甲烷的纯化反应可以充分反应。

本实用新型优选地技术方案在于，所述蘑菇喷气装置上开设有若干个通气通孔，使得进入所述反应罐的三氟甲烷形成气泡，防止所述反应罐内压力过大，且可以防止三氟甲烷反应不充分。

本实用新型优选地技术方案在于，所述反应液体为碱性溶液，使得二氧化碳以及水分都能被吸收。

本实用新型优选地技术方案在于，所述进液管上有若干个分管伸入所述反应罐内，且每个所述分管上都配置有所述雾化喷头，多个所述雾化喷头的设置，使得从所述反应液体排出的三氟甲烷能再次反应，达到纯化的效果。

本实用新型优选地技术方案在于，所述蘑菇喷气装置完全淹没在所述反应罐的所述反应液体内，防止与所述反应液体的第一次反应不充分。