[实用新型]一种氮化镓生长加热炉

权利要求书

1.一种氮化镓生长加热炉，其特征在于，所述氮化镓生长加热炉包括炉体和支撑座，所述炉体设置于支撑座上，所述炉体的最内层为石英炉胆，所述石英炉胆的外侧为加热装置和保温隔热层；所述支撑座包括底板和两端的侧板，所述侧板的底部固定在底板上，所述侧板上开有穿孔，所述石英炉胆的两端分别位于支撑座两端的侧板的穿孔中并通过法兰固定，所述石英炉胆的两端分别为进气端和生长杆插入端，所述进气端连接有进气法兰，所述生长杆插入端连接有封口法兰，所述封口法兰的中部固定有生长杆，并开有排气口。

2.根据权利要求1所述的氮化镓生长加热炉，其特征在于，所述石英炉胆外侧的加热装置包括多段功率不同的加热电阻，所述加热电阻排列缠绕在石英炉胆的外侧，所述保温隔热层由内到位依次为石棉层和不锈钢外壳，所述不锈钢外壳的两端分别缠绕有一圈不锈钢箍带。

3.根据权利要求2所述的氮化镓生长加热炉，其特征在于，所述支撑座的两端的侧板的相对外侧面的穿孔处分别固定有固定法兰，所述石英炉胆的两端分别设置有连接法兰，所述连接法兰与石英炉胆的端部之间设有密封胶圈，所述石英炉胆两端的连接法兰分别与支撑座两端的侧板的固定法兰连接，两连接法兰向内挤压住石英炉胆的两端。

4.根据权利要求3所述的氮化镓生长加热炉，其特征在于，所述进气法兰上开有多个进气穿孔，每个进气穿孔在进气法兰的外侧固定有进气接头。

5.根据权利要求4所述的氮化镓生长加热炉，其特征在于，所述石英炉胆为透明石英管，所述透明石英管在炉体的进气端裸露一段管体。

6.根据权利要求5所述的氮化镓生长加热炉，其特征在于，所述炉体的外侧设置有保护箱，所述保护箱连接在支撑座的侧板和底板上，所述炉体的底部通过支撑架设置在支撑座的底板上。

7.根据权利要求2～6任一所述的氮化镓生长加热炉，其特征在于，所述石英炉胆的外侧的两端分别缠绕有一圈支撑抱箍，所述支撑抱箍上对称的设置有多个短柱，所述石英炉胆两端的支撑抱箍上对应的短柱间连接有支撑杆，所述加热电阻缠绕在支撑杆上且不与石英炉胆接触。