[实用新型]一种垂直区熔合成热电材料的装置有效
申请号: | 202020358162.3 | 申请日: | 2020-03-20 |
公开(公告)号: | CN211182244U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 刘宏;章于道;成伟;徐岭;葛芳平 | 申请(专利权)人: | 江阴市赛贝克半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L35/34 | 分类号: | H01L35/34 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 吴芳 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 垂直 熔合 热电 材料 装置 | ||
1.一种垂直区熔合成热电材料的装置,其特征在于,包括炉体(15)、振动器(17)、加热体提升装置(18)、PLC控制装置、第一限位部(12)和第二限位部(16);所述炉体(15)内设有加热体(21)、圆环反射弧装置(23)和保温隔热层(22),所述加热体(21)为环状结构,所述圆环反射弧装置(23)设置在所述加热体(21)外侧,所述加热体(21)与所述圆环反射弧装置(23)之间以及所述圆环反射弧装置(23)与所述炉体(15)外壳之间均由所述保温隔热层(22)填充;
石英管(13)从上往下依次穿过第一限位部(12)、加热体(21)的中心孔和第二限位部(16),第一限位部(12)和第二限位部(16)均用于对石英管(13)进行限位;所述振动器(17)用于对石英管(13)进行振动;
所述PLC控制装置能控制所述加热体(21)开启、关闭或调节加热功率,以及控制加热体提升装置(18)和振动器(17)开启或停止工作;
在所述加热体提升装置(18)的驱动下,所述炉体(15)沿着石英管(13)的管长方向上下移动。
2.根据权利要求1所述的垂直区熔合成热电材料的装置,其特征在于,所述加热体提升装置(18)包括驱动装置(11)和丝杆(14),所述丝杆(14)上设有能固定所述炉体(15)的平台(19)。
3.根据权利要求2所述的垂直区熔合成热电材料的装置,其特征在于,所述驱动装置(11)包括步进电机和减速机。
4.根据权利要求1所述的垂直区熔合成热电材料的装置,其特征在于,所述第一限位部(12)设有若干被石英管(13)穿过的上位限位孔,所述第二限位部(16)设有若干与所述上位限位孔一一对应的被石英管(13)穿过的下位限位孔,所述上位限位孔和所述下位限位孔分别对石英管(13)的上部和下部进行限位。
5.根据权利要求4所述的垂直区熔合成热电材料的装置,其特征在于,所述上位限位孔和所述下位限位孔均设有供石英管(13)在振动器(17)作用下振动的运动空间,所述石英管(13)内真空封装有原材料。
6.根据权利要求1所述的垂直区熔合成热电材料的装置,其特征在于,所述振动器(17)固定在所述第二限位部(16)上。
7.根据权利要求6所述的垂直区熔合成热电材料的装置,其特征在于,所述振动器(17)为变频振动器,其频率调节范围为0-200Hz。
8.根据权利要求1所述的垂直区熔合成热电材料的装置,其特征在于,所述炉体(15)外壳为不锈钢制成的圆柱体。
9.根据权利要求8所述的垂直区熔合成热电材料的装置,其特征在于,所述加热体(21)、所述圆环反射弧装置(23)、所述保温隔热层(22)与所述炉体(15)外壳的高度一致。
10.根据权利要求9所述的垂直区熔合成热电材料的装置,其特征在于,所述保温隔热层(22)被圆环反射弧装置(23)分隔为内保温隔热层和外保温隔热层。
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