[实用新型]温度检测装置

权利要求书

1.一种温度检测装置，用于基板处理的处理液的温度检测装置，其特征在于，包括：

温度测量传感器，其与所述处理液流动的管的外面临接地设置，感知所述管内部处理液的温度。

2.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，

所述温度测量传感器以配置于所述管的不同部位之间的形式设置于所述管外面。

3.根据权利要求1所述的温度检测装置，其特征在于，还包括：

连接部，其两侧分别与所述管的不同部位连接，

所述温度测量传感器配置于所述连接部内部。

4.根据权利要求3所述的温度检测装置，其特征在于，所述连接部包括环氧树脂材料。

5.根据权利要求3所述的温度检测装置，其特征在于，

所述连接部以使与两侧连接的所述管的不同部位沿并列的长度方向互相隔开的形式进行连接。

6.一种温度检测装置，其特征在于，包括：

管，其供用于基板处理的处理液流动；

夹具，其外周面缠绕有所述管，使得所述缠绕的管部位的形状维持一定的状态；

温度测量传感器，其与缠绕于所述夹具的管外面临接地设置，感知所述管里流动的处理液的温度。

7.根据权利要求6所述的温度检测装置，其特征在于，

所述管在所述夹具的外面缠绕至少一次以上，以便互相不同的多个部位具有并列的长度方向。

8.根据权利要求6所述的温度检测装置，其特征在于，还包括：

连接部，其两侧连接至缠绕于所述夹具的管的互相不同的部位外面，

所述温度测量传感器配置于所述连接部的内部。

9.根据权利要求6所述的温度检测装置，其特征在于，所述夹具包括：互相隔开的一对支撑部，其包括弯曲面；以及

连接梁，其使得所述一对支撑部连接，

所述管在所述一对支撑部的弯曲面依次卷绕。

10.根据权利要求9所述的温度检测装置，其特征在于，

所述连接梁比所述一对支撑部的宽度小，

所述管在缠绕于所述夹具的状态下与所述连接梁隔开。

11.根据权利要求9所述的温度检测装置，其特征在于，

所述温度测量传感器在位于所述一对支撑部之间的管部位外面设置。

12.根据权利要求9所述的温度检测装置，其特征在于，

所述支撑部沿着弯曲面凹陷形成，包括所述管嵌入的安装槽。

13.根据权利要求12所述的温度检测装置，其特征在于，

在所述各个支撑部形成有多个安装槽，所述安装槽互相隔开。

14.根据权利要求6所述的温度检测装置，其特征在于，还包括：

保温壳体，其包括隔热材料，

所述保温壳体包裹所述夹具及缠绕于夹具的管部位。