[实用新型]一种三级混合气冷罗茨真空机组

权利要求书

1.一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：包括电机(2)、罗茨泵、冷凝器、排气管道、返气管道和阀门(14)，所述罗茨泵包括依次连接的一级泵(4)、第一中壁(5)、二级泵(6)、第二中壁(7)和三级泵(8)，第一中壁(5)上设有连接一级泵(4)和二级泵(6)腔体的气体通道，二级泵(6)和三级泵(8)上均设有排气口和冷气返气口，电机输出轴与伸出一级泵(4)端部的主轴通过联轴器(3)相连；

冷凝器包括二级冷凝器和三级冷凝器，所述二级冷凝器和三级冷凝器均包括壳程和套设于壳程内的管程；

二级泵排气口(31)通过二级排气管道(21)连接至二级冷凝器壳程(9)，二级冷凝器壳程(9)通过二级返气管道(22)分别连接至二级泵冷气返气口(32)和三级泵第一冷气返气口(35)，三级泵排气口(33)通过三级排气管道(23)连接至三级冷凝器壳程(11)，三级冷凝器壳程(11)通过三级返气管道(24)分别连接至三级泵第二冷气返气口(34)和二级排气管道(21)，与二级排气管道(21)连接的三级返气管道支路与二级排气管道(21)之间安装阀门(14)。

2.根据权利要求1所述的一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：所述阀门(14)为逆止阀。

3.根据权利要求1所述的一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：所述第二中壁(7)上设有连接二级泵(6)和三级泵(8)腔体的气体通道。

4.根据权利要求1所述的一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：所述二级泵(6)和三级泵(8)外部设有联通二级泵和三级泵腔体的气体通道。

5.根据权利要求1所述的一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：所述二级冷凝器和三级冷凝器相互独立。

6.根据权利要求1所述的一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：二级冷凝器壳程(9)和三级冷凝器壳程(11)相互独立，二级冷凝器管程(10)和三级冷凝器管程(12)相互贯通。

7.根据权利要求1所述的一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：还包括机架(1)，所述机架(1)为长方体框架结构，机架(1)顶部依次安装电机(2)、联轴器(3)和罗茨泵，机架(1)框架内与二级泵(6)和三级泵(8)对应位置处分别设置二级冷凝器和三级冷凝器。

8.根据权利要求1所述的一种三级混合气冷罗茨真空机组，其特征在于：二级冷凝器壳程(9)和三级冷凝器壳程(11)通过法兰连接。