[实用新型]应用于烘箱的门锁组件及烘箱

说明书

本实用新型实施例涉及烘箱门锁设计技术领域，具体而言，涉及一种应用于烘箱的门锁组件及烘箱。该门锁组件包括互相配合以将烘箱的箱门和箱体锁紧的第一定位件、第二定位件和锁紧件。锁紧件的锁杆的两端分别设置有第一紧固部和备用的第二紧固部。如此，当第一紧固部出现磨损导致烘箱的密闭性欠佳时，可以将第一定位件从箱门上卸载并进行位置调换，然后将调换后的第一定位件重新固定于箱门。由于锁紧件是设置于第一定位件上的，通过上述操作，能够实现锁杆的位置调换，进而可以采用备用的第二紧固部对箱门和箱体进行锁紧，能够在短时间内实现门锁组件的替换，延长门锁组件的使用寿命，确保烘箱闭合时的密闭性，提高烘箱内产品的良率和生产效率。

技术领域

本实用新型实施例涉及烘箱门锁设计技术领域，具体而言，涉及一种半导体产品制造过程中可应用于烘箱的门锁组件及烘箱。

背景技术

烘箱作为生产高精密半导体产品的重要生产工具之一，例如用于硅片光刻前预处理(对涂有增黏剂的硅片进行密封加热)的YES-5型OAP烘箱，其闭合时的密闭性对半导体产品的成品质量而言至关重要。在实际生产过程中，烘箱门锁在长期使用时磨损严重，会影响烘箱闭合时的密闭性，且由于烘箱门锁与烘箱大多是配套生产，难以在短时间内对烘箱门锁进行替换，采用其他物体进行辅助密封也难以确保烘箱闭合时的密闭性，进而影响产品的生产良率以及生产效率。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种应用于烘箱的门锁组件及烘箱，该门锁组件中的第一定位件、第二定位件和锁紧件能够在结构上进行配合，以将烘箱的箱门和箱体进行锁紧，锁紧件的锁杆的两端分别设置有第一紧固部和备用的第二紧固部。如此，当第一紧固部出现磨损导致烘箱的密闭性欠佳时，可以将第一定位件从箱门上卸载并进行位置调换，然后将调换后的第一定位件重新固定于箱门，从而实现锁杆的位置的调换，以采用备用的第二紧固部对箱门和箱体进行锁紧，能够在短时间内实现门锁组件的替换，确保烘箱闭合时的密闭性，延长门锁组件的使用寿命，提高烘箱内产品的良率和生产效率。

为实现上述目的，本实用新型实施例的第一方面，提供了一种应用于烘箱的门锁组件(100)，所述门锁组件(100)包括：

可拆卸式固定于所述烘箱的箱门(41)的第一定位件(1)，所述第一定位件(1)包括开设有第一通孔(111)的第一紧固端(11)和开设有第二通孔(121)的第二紧固端(12)，所述第一紧固端(11)和所述第二紧固端(12)分别位于所述第一定位件(1)的两端；

固定于所述烘箱的箱体(42)的第二定位件(2)，所述第二定位件(2) 开设有锁紧孔(221)；以及

与所述第一定位件(1)和所述第二定位件(2)配合以将所述箱门(41) 和所述箱体(42)锁紧的锁紧件(3)，所述锁紧件(3)包括锁杆(31)以及与所述锁杆(31)固定连接的限位操作部(32)，所述锁杆(31)的两端分别设置有第一紧固部(311)和第二紧固部(312)；其中，所述第二紧固部(312)为备用的紧固部。

在一种可替换的实施方式中，所述第一定位件(1)开设有第一固定孔 (13)，所述门锁组件(100)还包括第一固定件(131)；

所述第一定位件(1)设置于所述箱门(41)，所述第一固定件(131) 穿过所述第一固定孔(13)与所述箱门(41)固定，以使所述第一定位件 (1)可拆卸式固定于所述箱门(41)；

所述限位操作部(32)用于在外力的作用下带动所述第一紧固部(311) 或所述第二紧固部(312)插入所述锁紧孔(221)以锁紧所述箱门(41) 和所述箱体(42)，或带动所述第一紧固部(311)或所述第二紧固部(312) 退出所述锁紧孔(221)以打开所述箱门(41)。

在一种可替换的实施方式中，所述第一固定孔(13)的数量为多个；多个第一固定孔(13)对称分布于所述第一通孔(111)和第二通孔(121) 所形成的连线的两侧。