[实用新型]一种用于两相法沉积介孔硅的钛片夹持装置

权利要求书

1.一种用于两相法沉积介孔硅的钛片夹持装置，其特征在于：包括两个一字形环形单元(1)，且每个所述一字形环形单元均为非闭合环形结构；两个所述一字形环形单元(1)嵌套连接形成十字形夹持装置，并且两个所述一字形环形单元(1)中心结合处为镂空，形成用于置放搅拌子(103)的空腔，其四周形成用于夹持钛片的夹持腔(101)。

2.根据权利要求1所述的一种用于两相法沉积介孔硅的钛片夹持装置，其特征在于：每个所述夹持腔(101)相对的侧壁上均开设有卡槽(3)，钛片能插入卡槽(3)内。

3.根据权利要求2所述的一种用于两相法沉积介孔硅的钛片夹持装置，其特征在于：每个所述一字形环形单元(1)上的卡槽(3)具有倾斜角度，角度为15-30度，卡槽(3)的深度与钛片的厚度相适配。

4.根据权利要求3所述的一种用于两相法沉积介孔硅的钛片夹持装置，其特征在于：所述一字形环形单元(1)均留有一个开口(2)，用于嵌套连接两个一字形环形单元(1)，并且开口(2)大小为1-2cm。

5.根据权利要求4所述的一种用于两相法沉积介孔硅的钛片夹持装置，其特征在于：所述的一字形环形单元(1)均为金属丝。

6.根据权利要求5所述的一种用于两相法沉积介孔硅的钛片夹持装置，其特征在于：所述金属丝是钛丝。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种用于两相法沉积介孔硅的钛片夹持装置，其特征在于：每个所述一字形环形单元(1)均为长方形结构。

8.根据权利要求1-6任一项所述的一种用于两相法沉积介孔硅的钛片夹持装置，其特征在于：每个所述一字形环形单元(1)的四个角处均一体折弯有45度倒角。

9.根据权利要求1-6任一项所述的一种用于两相法沉积介孔硅的钛片夹持装置，其特征在于：每个所述一字形环形单元(1)的两条短边均为一体折弯有弧形边。