[实用新型]高精密度化学品配比定容器

说明书

本实用新型公开了高精密度化学品配比定容器，包括容器本体，容器本体包括进液段、出液段以及设于进液段和出液段之间的中间连接段，进液段的下方设有进液端口，其中进液口端通过管路连接有三向气动阀三，且三向气动阀三和原液进口之间的管路上设有气动阀一，三向气动阀三和原液出口之间的管路上设有气动阀二，出液段的顶部设有出液端口，其中出液端口通过管路连接有三向气动阀四，且出液端口和三向气动阀四之间的管路上设有液位传感器，氮气入口和三向气动阀四之间的管路上设有气动阀五。本实用新型设计合理，结构简单，通过增减中间连接段的数量来调节容器本体的容积，以满足不同使用需求，工艺过程简单，出错率低，具有推广价值。

技术领域

本实用新型属于定容装置技术领域，具体涉及高精密度化学品配比定容器。

背景技术

微电子行业的纯化学品及带颗粒(abrasives)的化学品(研磨液，喷砂液，切割液，抛光液等等)，时常因为包装运输方便及工艺需求，需做精密配比。如显影剂中，时常需要精密的浓度配比(如TMAH 2.38％+-0.002％)，还有研磨液中的W2000钨导线研磨液及铜导线研磨液，需配置过氧化氢2.2％+-0.05类似范围的浓度等等。这些精密配比中，原液的输入的允许误差常在配比槽的磅秤精准度范围以外甚多，也就是说必须精密到小到一克甚至一克以下的范围。现有的定容装置工艺过程复杂，涉及工具种类繁多，过程繁琐，极易出错，出错后带来经济损失极大，对检测和科学研究的质量管理带来严峻的挑战。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供高精密度化学品配比定容器，以解决上述背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：高精密度化学品配比定容器，其结构要点在于：包括容器本体，容器本体包括进液段、出液段以及设于进液段和出液段之间的中间连接段，且进液段、中间连接段和出液段之间密封连接，进液段的下方设有进液端口，其中进液口端通过管路连接有三向气动阀三，三向气动阀三通过管路分别连接有原液进口和原液出口，且三向气动阀三和原液进口之间的管路上设有气动阀一，三向气动阀三和原液出口之间的管路上设有气动阀二，出液段的顶部设有出液端口，其中出液端口通过管路连接有三向气动阀四，三向气动阀四通过管路分别连接有溢液端口和氮气入口，且出液端口和三向气动阀四之间的管路上设有液位传感器，氮气入口和三向气动阀四之间的管路上设有气动阀五。

作为优选的，容器本体外部设有控制器，且控制器分别与气动阀一、气动阀二、三向气动阀三、三向气动阀四、液位传感器和气动阀五相连接。

作为优选的，进液段、中间连接段和出液段之间通过螺纹结构密封连接，且进液段、中间连接段和出液段之间设有密封胶圈。

作为优选的，进液段和出液段的结构一致，且进液段和出液段的内部均呈锥形结构。

作为优选的，中间连接段至少为一个，且中间连接段呈圆筒状结构。

作为优选的，原液进口与原液桶相连接。

作为优选的，氮气入口与氮气气源相连接。

与现有技术相比，本实用新型设计合理，结构简单，拆装方便，通过增减中间连接段的数量来调节容器本体的容积，以满足不同使用需求，工艺过程简单，出错率低，具有推广价值。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型容器本体的内部结构示意图；

图3为本实用新型容器本体的分解结构示意图；

图中：1-容器本体，2-进液段，3-出液段，4-中间连接段，5-进液端口，6-原液进口，7-原液出口，8-气动阀一，9-气动阀二，10-三向气动阀三，11-溢液端口，12-溢液端口，13-氮气入口，14-三向气动阀四，15-液位传感器，16-气动阀五。