[实用新型]一种石英坩埚壁厚快速检测装置

权利要求书

1.一种石英坩埚壁厚快速检测装置，其特征在于，包括顶板、承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板，所述底板处具有多个半球形凹槽，每个半球形凹槽内具有一个球体，所述承载板位于所述底板上方被多个所述球体支撑；所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元，所述检测单元包括活动板、内径检测环和外径检测环，外径检测环通过第一连接杆与所述活动板连接，所述内径检测环通过第二连接杆与所述活动板连接。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置，其特征在于，所述第一连接杆有4个，4个第一连接杆呈圆环状等间距分布，所述第二连接杆有4个，4个第二连接杆呈圆环状等间距分布。

3.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置，其特征在于，所述外径检测环和内径检测环的截面均为圆形。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置，其特征在于，所述外径检测环和所述内径检测环均具有刚性环形骨架和包覆所述刚性环形骨架的包层。

5.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置，其特征在于，所述承载板的上表面固定有防滑垫。

6.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置，其特征在于，所述第一连接杆的长度等于第二连接杆的长度。

7.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置，其特征在于，所述球体的直径小于半球形凹槽的直径0-1mm。

8.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置，其特征在于，多个半球形凹槽呈多圈分布；或者多个半球形凹槽呈十字形分布。