[实用新型]一种张网装置

说明书

本实用新型公布一种张网装置，包括张网机台、抓夹滑轨和抓夹机构，抓夹滑轨相对地设置张网机台的左右两侧，抓夹机构活动设置在抓夹滑轨中，抓夹机构用于张网，还包括高度调整单元、传感器和量测平面，抓夹机构通过高度调整单元与抓夹滑轨连接，高度调整单元用于调整抓夹机构的高度，所述传感器设置在所述抓夹机构上，量测平面相对地设置张网机台的左右两侧且平行于水平面，传感器用于获取传感器与量测平面的距离。通过传感器实时检测抓夹机构与量测平面之间的高度，在抓夹机构平坦度变化，及时利用高度调整单元进行调整。可以避免抓夹机构在移动或使用过程中受到影响，产生左右高低差，便可减小张网过程掩膜板的褶皱问题。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备领域，尤其涉及一种张网装置。

背景技术

现有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)制程中，需要采用高精细金属掩膜板遮挡无需蒸镀的区域，保证像素点镀膜的精准度。由于在蒸镀腔体内，需要使用高精细金属掩膜板与基板贴合蒸镀，故金属掩膜板的平坦度将会直接影响镀膜区域与基板完整性。而为了保证金属掩膜板的平坦度，除了控制物料自身品质外，最主要的是减少其制作过程抓夹物料机构的偏差。

目前大多数张网机台使用外接设备或量测仪器对抓夹机构进行平坦度调试，一旦调试完成后，制作张网过程将无法实时检测或调整其夹爪机构的平坦度。如图1设备结构所示，当左、右夹爪机构位于Loading端时，使用传感器量测其左右高低差为0.01mm，而如图2所示，当夹爪机构移动至frame上方进行张网时，再次使用sensor量测其左右平坦度，发现偏差已增大至0.03mm，由此看出夹爪机构移动或使用过程会受到滑轨与施力的影响，产生左右高低差。

实用新型内容

为此，需要提供一种张网装置，解决抓夹机构无法实时调整平坦度的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种张网装置，包括张网机台、抓夹滑轨和抓夹机构，抓夹滑轨相对地设置张网机台的左右两侧，抓夹机构活动设置在抓夹滑轨中，抓夹机构用于张网，还包括高度调整单元、传感器和量测平面，抓夹机构通过高度调整单元与抓夹滑轨连接，高度调整单元用于调整抓夹机构的高度，所述传感器设置在所述抓夹机构上，量测平面相对地设置张网机台的左右两侧且平行于水平面，传感器用于获取传感器与量测平面的距离。

进一步地，抓夹机构相同的一侧通过连接杆连接。

进一步地，所述连接杆为2个，2个所述连接杆分别连接抓夹机构相同的一侧。

进一步地，还包括校正平面，校正平面设置在张网机台中间处于连接杆正下方，所述传感器活动设置在抓夹机构和连接杆上，所述传感器用于通过连接杆从抓夹机构移动到校正平面正上方并获取传感器与校正平面的距离。

进一步地，所述传感器为激光传感器。

进一步地，所述传感器为多个，多个所述的传感器设置在每个抓夹机构的两侧。

进一步地，还包括蒸镀腔体，所述张网机台设置在所述蒸镀腔体中。

进一步地，还包括驱动单元，驱动单元电连接传感器和抓夹机构的高度调整单元，驱动单元用于获取传感器数据并根据传感器数据控制高度调整单元。

区别于现有技术，上述技术方案通过传感器实时检测抓夹机构与量测平面之间的高度，在抓夹机构平坦度变化，及时利用高度调整单元进行调整。可以避免抓夹机构在移动或使用过程中受到影响，产生左右高低差，便可减小张网过程掩膜板的褶皱问题。

附图说明

图1为本实施例所述张网辅助装置的结构示意图；

图2为本实施例第一传感器进行校正的结构示意图；

图3为本实施例第二传感器进行校正的结构示意图。

附图标记说明：