[实用新型]一种四探针测试仪的定位支架

说明书

本实用新型公开了一种全自动化的四探针测试仪的定位支架对测试仪进行移动定位，解决移动过程中稍有不慎造成事故的问题，使其移动距离更为精确。一种四探针测试仪的定位支架，包括底座，底座上固定连接有竖杆，竖杆上活动套设有第一套筒，竖杆顶部用于控制第一套筒上下移动的升降装置；第一套筒通过第一连接臂与探头固定连接；竖杆底部通过活动座与底座滑动连接，底座靠近竖杆的相邻两侧边分别开设有第一滑动槽和第二滑动槽，第一滑动槽内滑动设有横向滑动座，第二滑动槽内滑动设有纵向滑动座，且横向滑动座和纵向滑动座分别通过第二连接臂和第三连接臂与活动座固定连接。

技术领域

本实用新型涉及生产检测设备领域，具体涉及一种四探针测试仪的定位支架。

背景技术

四探针测试仪是在半导体单晶生产过程中用来测试单晶断面及表皮电阻率的测试仪器，但在实际使用过程中存在一定的不便，单晶硅的断面往往需要测试中心点，公告号CN206193061U提出了一种四探针测试仪，解决在单晶硅生产检测过程中，随着单晶重量的增加，单晶段不但越来越难以移动，且在移动过程中稍有不慎，容易造成事故的问题。但是，此专利中对其连接臂的调节均为手动调节，在手动调节时容易使力不均产生大幅度摆动或使单晶移动。

基于此，特提出了一种四探针测试仪的定位支架。

实用新型内容

针对上述现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是：提出了一种全自动化的四探针测试仪的定位支架对测试仪进行移动定位，解决移动过程中稍有不慎造成事故的问题，使其移动距离更为精确。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用了如下的技术方案：一种四探针测试仪的定位支架，包括底座，所述底座上固定连接有竖杆，其关键在于：所述竖杆上活动套设有第一套筒，所述竖杆顶部用于控制所述第一套筒上下移动的升降装置；所述第一套筒通过第一连接臂与探头固定连接；所述竖杆底部通过活动座与所述底座滑动连接，所述底座靠近所述竖杆的相邻两侧边分别开设有第一滑动槽和第二滑动槽，第一滑动槽内滑动设有横向滑动座，第二滑动槽内滑动设有纵向滑动座，且所述横向滑动座和所述纵向滑动座分别通过第二连接臂和第三连接臂与所述活动座固定连接。

优选的，所述第一连接臂与所述探头栓接。

优选的，所述升降装置、横向滑动座和纵向滑动座分别与控制器连接。

优选的，所述探头电连接有显示器。

优选的，所述控制器分别控制第一电机、第二电机和第三电机与所述升降装置、横向滑动座和纵向滑动座连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：通过升降装置对第一套筒上下移动，横向滑动座和纵向滑动座对竖杆进行两个方向移动，配合使用能够达到三个方向的移动，并且通过控制器控制能够精确的控制移动。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为图1底板上滑动槽及滑动座的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的详细说明。