[实用新型]一种电子直线加速器用的真空三通

说明书

本实用新型公开了一种电子直线加速器用的真空三通，涉及电子直线加速器技术；其特征在于：包括三通主体、CF63松套法兰、CF35松套法兰、下法兰、刮束筒、冷却水管接头；所述三通主体为圆柱形中空不锈钢管，CF35松套法兰和下法兰分别焊接在上口和下口，两者垂直对应；CF35松套法兰连接加速管；下法兰内嵌刮束筒，下方连接BCT；下法兰体内设置有冷却水循环通道和水管接头；CF63松套法兰焊接在所述真空三通的侧面开口，连接真空离子泵；刮束筒为无氧铜材质，设置成上口大、下口小的漏斗形；本实用新型具有以下优点：所述真空三通占用操作空间小，安装方便，能够直接实现刮束功能，有更强的维持高真空度效果。

技术领域

本实用新型涉及电子直线加速器技术，特别涉及电子束流准直技术。

背景技术

电子加速器是将电子加速并集束发射的装置，其中的电子直线加速器由于在加速过程中基本没有辐射损失，可以将电子束流提高到很高的能量，因而在加速器中占有独特的地位；电子直线加速器的加速系统结构，自上而下包括电子枪、加速管、聚焦线圈、导向线圈、手动超高真空插板阀、BCT、扫描磁铁、扫描盒等部件，各部件之间由相应的接口组件连接，或用焊接、或用螺栓固定。

电子束流自电子枪进入加速管，在加速管内经过加速与聚束之后，电子束流从加速管主管道射出进入扫描盒之前，需要对电子束流形状进行规范，即刮束功能，也就是把散射的电子吸收掉，只允许高度聚集的束流通过，实现电子束流准直,并能对接电子束流大小测量装置BCT（束流检测变压器），这些工作要通过加速管和扫描盒之间的连接组件完成。该组件通常结构为：真空三通-漂移管-刮束器-BCT，这种原有结构的缺点是漂移管较长、接口较多，所需安装空间较大且安装不方便，过多的接口增加了真空泄漏的隐患。电子直线加速器及其配套系统不断发展和优化，多种部件结构有了新的技术设计，经检索专利与文献，未见电子直线加速器中有关该组件的新技术公布。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种电子直线加速器用的真空三通，所述真空三通占用操作空间小，安装方便，能够直接实现刮束功能，并能对接测量束流大小的BCT，有更强的维持高真空度效果。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是，该装置包括三通主体、CF63松套法兰1、CF35松套法兰2、下法兰3、刮束筒4、冷却水管接头5；所述三通主体为圆柱形中空不锈钢管，CF35松套法兰2和下法兰3分别焊接在上口和下口，两者垂直对应；CF35松套法兰2连接加速管，为电子束流的进入口；下法兰3内嵌刮束筒4，下方连接BCT（束流检测变压器），为刮束和测量后的电子束流输出口；下法兰3体内设置有冷却水循环通道和水管接头5，通过冷却水对装置降温保护；CF63松套法兰1焊接在所述真空三通的侧面开口，连接真空离子泵，保障系统真空度；刮束筒4为无氧铜材质，以增强导热性能，设置成上口大、下口小的漏斗形，既能规范电子束流在集中度很高的状态下从下口发射出，又能增加散射电子和刮束筒4的接触面积，利于冷却、避免过热危害。

所述下法兰3为中心设置成圆孔的圆盘状，沿着其内部圆孔周缘向下法兰3体内开设出环形沟槽，所述沟槽上缘形成的圆孔直径大于所述沟槽下缘形成的圆孔直径，刮束筒4上周缘与所述沟槽上缘真空钎焊或电子束焊接，刮束筒4下周缘与所述沟槽下缘真空钎焊或电子束焊接，则刮束筒4与下法兰3之间构成密封的冷却水循环通道；将刮束筒4内嵌在下法兰内部既保留了刮束功能又减少了连接接口，且能缩短漂移管的长度节省空间，后续连接方式为：真空三通（含刮束筒）-BCT-漂移管。

本实用新型的有益效果是，所述真空三通，将刮束筒4内嵌在下法兰内部，既保留了刮束功能又减少了连接接口，且能缩短漂移管的长度节省空间，安装方便，能够直接实现刮束功能，有水循环降温保护，并能对接测量束流大小的BCT，减少了连接接口，有更强的维持高真空度效果。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型的技术方案作进一步详细说明；

附图1：为所述真空三通结构示意图；