[实用新型]一种石墨舟卡点用直槽有效
申请号: | 202020297725.2 | 申请日: | 2020-03-11 |
公开(公告)号: | CN211872083U | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 褚高阳 | 申请(专利权)人: | 褚高阳 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 郑自群 |
地址: | 510000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 舟卡点用直槽 | ||
本实用新型属于太阳能电池制造设备技术领域,尤其为一种石墨舟卡点用直槽,包括卡点底座,所述卡点底座两侧壁对称且固定连接有两个卡点轴,两个所述卡点轴远离卡点底座的一端均固定连接有卡接部,两个所述卡点轴均与卡点底座之间形成卡点直槽,两个所述卡点轴上套设有第一卡块,所述第一卡块的下侧设有第二卡块,所述连接块内设有弹簧,所述弹簧一端与第一连接杆固定连接,所述第二连接杆贯穿连接块并与凹槽的内壁固定连接。本实用新型通过设置卡点直槽、第一卡块和第二卡块,使V型卡槽变成卡点直槽,提高了卡槽的深度,减少色差片的产生,提高硅片的导电性能,还能够对卡和的硅片进行防护,减少硅片的损坏,提高产品的良品率。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造设备技术领域,具体为一种石墨舟卡点用直槽。
背景技术
在太阳能电池片的制造过程中,硅片进行其表面镀膜工序时,需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上,目前,载片器通常采用石墨舟,具体操作过程是:将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上,然后,将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中,采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。
现有技术当中的石墨舟卡点通常为V型卡点,但是V型卡点的底端不便与硅片相接触,易产生色差片、会造成大量的不良产品,而且现有技术当中的石墨舟卡点不便对硅片进行防护,当硅片与卡点进行卡和的时候容易对硅片造成损坏,导致生产成本的增加。
现有技术当中的石墨舟卡点存在以下问题:
1、现有技术当中的石墨舟卡点,通常采用V型卡点,V型卡点的底端不便与硅片相接触,易产生色差片,会造成大量的不良产品;
2、现有技术当中的石墨舟卡点,不便对硅片进行防护,硅片直接与卡点进行卡和,易对硅片造成损坏,而且卡点在进行长时间的使用过程中会产生磨损,通常直接更换卡点,造成生产成本的增加。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种石墨舟卡点用直槽,解决了现有技术当中的卡点不便与硅片接触完全、不便对卡和的硅片进行防护和不便卡点在进行使用的过程中易磨损的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种石墨舟卡点用直槽,包括卡点底座,所述卡点底座两侧壁对称且固定连接有两个卡点轴,两个所述卡点轴远离卡点底座的一端均固定连接有卡接部,两个所述卡点轴均与卡点底座之间形成卡点直槽,两个所述卡点轴上套设有第一卡块,所述第一卡块的下侧设有第二卡块,所述第一卡块下侧两个均固定连接有第一限位块,所述第二卡块两端均设有凹槽,凹槽内滑动设有与第一限位块相咬合的第二限位块,所述第二限位块一侧壁固定连接有第一连接杆,所述第一连接杆远离第二限位块一端滑动连接有连接块,所述连接块内设有弹簧,所述弹簧一端与第一连接杆固定连接,且弹簧的另一端固定连接有第二连接杆,所述第二连接杆贯穿连接块并与凹槽的内壁固定连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第一卡块和第二卡块的外壁上均固定连接有弧形软垫。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第二限位块下端面固定连接有滑块,所述第二卡块上设有与滑块相匹配的滑槽。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第二卡块上对称设有与凹槽连通的第一开孔。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述卡接部上对称设有与第一开孔相匹配的第二开孔。
作为本实用新型的一种优选技术方案,所述第一卡块和第二卡块形状相同。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种石墨舟卡点用直槽,具备以下有益效果:
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的