[实用新型]一种三氯化硼的吸附装置有效
| 申请号: | 202020276960.1 | 申请日: | 2020-03-09 |
| 公开(公告)号: | CN212491675U | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
| 发明(设计)人: | 宗立冬;徐学强;汤清云 | 申请(专利权)人: | 安徽艾佩科电子材料有限公司 |
| 主分类号: | B01D15/10 | 分类号: | B01D15/10 |
| 代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 姚惠菱 |
| 地址: | 239500 安徽省滁*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 氯化 吸附 装置 | ||
1.一种三氯化硼的吸附装置,其特征在于,包括原料钢瓶、吸附柱、成品罐以及中和罐,所述原料钢瓶的瓶口连接至所述吸附柱的入口,所述吸附柱的出口分别连接至所述成品罐的入口和所述中和罐的入口。
2.如权利要求1所述的吸附装置,其特征在于,所述原料钢瓶为10L的钢瓶。
3.如权利要求1所述的吸附装置,其特征在于,所述吸附柱中填充有13X分子筛。
4.如权利要求1所述的吸附装置,其特征在于,所述中和罐中容置有氢氧化钠溶液。
5.如权利要求1所述的吸附装置,其特征在于,所述原料钢瓶的瓶口与所述吸附柱的入口之间连接有依次设置的减压阀、流量计以及第一进口针阀,所述吸附柱、所述成品罐以及所述中和罐之间通过三通连接,所述吸附柱的出口与所述三通之间连接有第一出口针阀,所述三通与所述成品罐的入口之间连接有依次设置的主管单向阀、主管针阀以及第二进口针阀,所述成品罐的出口连接有第二出口针阀,所述三通与所述中和罐的入口之间连接有依次设置的支管针阀、支管单向阀以及第三进口针阀,所述中和罐的出口连接有第三出口针阀。
6.如权利要求5所述的吸附装置,其特征在于,所述减压阀为双级减压阀。
7.如权利要求5所述的吸附装置,其特征在于,所述流量计为玻璃管流量计。
8.如权利要求1所述的吸附装置,其特征在于,所述吸附柱的入口和出口,各自设有吸附柱法兰连接结构。
9.如权利要求1所述的吸附装置,其特征在于,所述成品罐的罐口设有成品罐法兰连接结构。
10.如权利要求1所述的吸附装置,其特征在于,所述中和罐的罐口设有中和罐法兰连接结构。
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