[实用新型]一种FAIMS离子检测器

权利要求书

1.一种FAIMS离子检测器，包括空心的反应筒，所述反应筒的内部依次分为供样品气体进入并分离成离子的进气口，输送分离后离子的迁移区，对离子进行检测的检测区和排出检测后样品气体的出气口，其特征在于，所述检测区包括：

敏感阵列，包括多根同样直径且垂直于离子进入方向的阵列硅柱，各所述阵列硅柱之间的间隔距离与所述直径相同；

栅极层，布置在所述敏感阵列靠近离子进入方向的一侧，包括多根并排且间隔设置的栅极硅柱，且各所述栅极硅柱之间的间隔距离大于所述阵列硅柱之间的间隔距离；

屏蔽层，布置在所述敏感阵列远离离子进入方向的一侧，包括多根并排且间隔设置的屏蔽硅柱，且各所述屏蔽硅柱之间的间隔距离大于所述阵列硅柱之间的间隔距离同时小于所述栅极硅柱之间的间隔距离；

后端电路模块，通过导线穿过所述反应筒的管壁后与所述敏感阵列连接，用于检测所述敏感阵列因吸收离子而生成的电流值。

2.根据权利要求1所述的FAIMS离子检测器，其特征在于，

所述敏感阵列中的阵列硅柱的直径为150-250μm。

3.根据权利要求1所述的FAIMS离子检测器，其特征在于，

所述后端电路模块包括电流引入接口，对引入电流进行高倍数高带宽放大的前置放大器，对放大后信号进行滤波的滤波电路，对滤波后信号进行低位数低延迟放大的后级放大器，对后级放大器输出的信号进行收集的信号收集器。

4.根据权利要求1所述的FAIMS离子检测器，其特征在于，

所述反应筒的管壁由玻璃-硅-玻璃三层构成。

5.根据权利要求1所述的FAIMS离子检测器，其特征在于，

所述后端电路模块贴附安装在所述反应筒的外侧壁上。