[实用新型]一种应用于半导体设备的液体管路侦测装置

权利要求书

1.一种应用于半导体设备的液体管路侦测装置，其特征在于，包括：

管路本体，设置在半导体设备中，所述管路本体包括沿液体流向依次设置的第一管路本体和第二管路本体，所述第一管路本体和第二管路本体经电磁阀相连通或断开；

压力开关，设置在所述第二管路本体上，所述压力开关用于检测所述第二管路本体内的液体压力；

PLC控制单元，用于采集电磁阀的启停信号及压力开关的压力信号，当所述电磁阀具有开启信号，压力开关无压力信号时，所述PLC控制单元控制报警单元进行报警；

应急清洁管道，一端与所述第一管路本体相连通，所述应急清洁管道的另一端与三通阀的入口相连通，所述三通阀的第一出口与所述第二管路本体相连通，所述三通阀的第二出口与排污管相连通，其中，所述应急清洁管道上设有第一手动开关阀，所述排污管上设有第二手动开关阀。

2.如权利要求1所述的应用于半导体设备的液体管路侦测装置，其特征在于，所述排污管上安装有螺纹连接套，所述螺纹连接套的下部设有喇叭状的开口，所述开口上安装有过滤网。

3.如权利要求2所述的应用于半导体设备的液体管路侦测装置，其特征在于，所述开口上还设有可打开和关闭的密封盖，所述密封盖位于所述过滤网的外侧。

4.如权利要求1所述的应用于半导体设备的液体管路侦测装置，其特征在于，所述报警单元包括蜂鸣器和报警灯，所述蜂鸣器和报警灯与所述PLC控制单元相连接。