[实用新型]可贴敷立式微电容式柔性力学传感器及电路系统

权利要求书

1.一种可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于包括柔性衬底、敏感层以及至少两个电极，所述敏感层设置在柔性衬底的表面，所述至少两个电极间隔设置在敏感层上；

其中，所述敏感层包括设置在柔性衬底表面的电容微极板以及设置在所述电容微极板表面的纳米线导电网络层，所述电容微极板包括分别具有第一螺旋结构、第二螺旋结构的第一电容微极板、第二电容微极板，所述第一螺旋结构、第二螺旋结构配合形成仿指纹涡纹的三维立体双螺旋状微纳结构，所述第一电容微极板与第二电容微极板之间还分布有聚合物介电层。

2.根据权利要求1所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于：所述第一电容微极板、第二电容微极板的高度为10～50μm，宽度为5～20μm，螺旋圈数为10～50圈，且第一电容微极板与第二电容微极板之间的间距大于30μm而小于或等于100μm。

3.根据权利要求1所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于：所述纳米线导电网络层包括由复数根金属纳米线相互交织形成的具有三维网状互联结构的金属纳米线三维网络导电薄膜。

4.根据权利要求3所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于：所述金属纳米线包括银纳米线、铜纳米线、金纳米线、镍纳米线的任意一种或两种以上的组合。

5.根据权利要求3所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于：所述金属纳米线三维网络导电薄膜的厚度为2～10μm。

6.根据权利要求1所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于：所述柔性衬底、敏感层与聚合物介质层结合为一体。

7.根据权利要求1所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于：所述电极为电极线，所述电极线的一端与纳米线导电网络层电性结合，另一端由所述纳米线导电网络层表面引出。

8.根据权利要求1所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于：所述聚合物介电层包括热塑性弹性体层、聚乙烯醇层、聚二甲基硅氧烷层、聚酰亚胺层的任意一种。

9.根据权利要求1所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于：所述柔性衬底包括聚乙烯醇衬底、聚二甲基硅氧烷衬底、聚对苯二甲酸乙二酯衬底、聚酰亚胺衬底和聚乙烯衬底的任意一种。

10.根据权利要求9所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于：所述电容微极板与柔性衬底一体成型设置。

11.根据权利要求9所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于：所述柔性衬底的厚度为20～300μm。

12.根据权利要求9所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于：所述电容微极板的材质与柔性衬底的材质相同。

13.根据权利要求1所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，其特征在于：所述电容式柔性力学传感器的厚度为190～500μm。

14.一种电路系统，其特征在于包括：权利要求1-13中任一项所述的可贴敷立式微电容式柔性力学传感器，以及，用以与所述电容式柔性力学传感器连接而形成信号转换的功能电路。

15.根据权利要求14所述的电路系统，其特征在于：所述可贴敷立式微电容式柔性力学传感器、功能电路还与电源连接而形成工作回路。