[实用新型]一种劈刀固定结构

说明书

本实用新型公开了一种劈刀固定结构，涉及晶圆劈裂机构，解决现有劈刀固定结构在击锤击打劈刀的过程中易造成偏移的技术问题，本实用新型包括平行设置的两个固定块，其特征在于，所述固定块呈长方体，所述固定块的其中一个面上设有一条竖向滑槽，所述两块固定块的竖向滑槽内跨设有劈刀，所述劈刀的顶部设有两个耳座，所述固定块上设有驱动机构，所述驱动机构和耳座通过牵引线连接，所述固定块和劈刀间还设有锁紧机构，所述劈刀的顶部设有用于击打劈刀的击锤，所述击锤的下端均匀设有多个条形齿条。

技术领域

本实用新型涉及晶圆劈裂机构，具体涉及一种劈刀固定结构，用于解决现有劈刀固定结构在击锤击打劈刀的过程中易造成偏移的技术问题。

背景技术

晶圆劈裂机用于将晶圆劈裂为一粒粒的晶粒，以进行后续的封装作业，晶圆在进行劈裂之前，会先用激光切割出横向与纵向的激光切割线，晶圆上的激光切割线并未断裂，其约略保留三分之二的厚度相连，接着将晶圆贴附一蓝膜(或白膜)，再于晶圆上方覆盖一保护膜加以保护后，通过一固定夹具送入一晶圆劈裂机进行劈裂作业，劈刀在被该击锤敲击时，冲击力会导致该连接片变形而让该劈刀微量偏移，因此为避免该劈刀偏移，该连接片必须采用较厚的材料，以抵抗变形。然而，此作法仅能降低变形量，且需要加大该击锤的敲击力以满足该劈刀所需的冲击力，其无法真正有效解决该劈刀微量偏移的问题，为了克服上述中存在的问题，提供了一种劈刀固定结构，用于解决现有劈刀固定结构在击锤击打劈刀的过程中易造成偏移的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为解决现有劈刀固定结构在击锤击打劈刀的过程中易造成偏移的技术问题，本实用新型提供一种劈刀固定结构。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种劈刀固定结构，包括平行设置的两个固定块，所述固定块呈长方体，所述固定块的其中一个面上设有一条竖向滑槽，所述两块固定块的竖向滑槽内跨设有劈刀，所述劈刀的顶部设有两个耳座，所述固定块上设有驱动机构，所述驱动机构和耳座通过牵引线连接，所述固定块和劈刀间还设有锁紧机构，所述劈刀的顶部设有用于击打劈刀的击锤，所述击锤的下端均匀设有多个条形齿条。

进一步地，所述驱动机构包括驱动电机，所述驱动电机的输出轴上固接有收线器，所述牵引线的一端固定在收线器上，牵引线的另一端和耳座连接，所述收线器包括呈工形的收线架，所述收线架通过连接轴和输出轴固接。

进一步地，所述驱动电机的下端安装有缓冲垫木，所述缓冲垫木通过紧固螺母和螺栓固定在固定块上。

进一步地，所述锁紧机构包括设置在固定块上的条形通孔A，所述劈刀上也设有和条形通孔A匹配的条形通孔B，所述条形通孔A贯穿固定块，并在凹槽的侧面形成了孔A，所述锁紧机构还包括贯穿条形通孔A并延伸进入条形通孔B内的锁紧棒，所述锁紧棒通过锁紧螺母将固定块和劈刀紧固在一起。

本实用新型工作时：首先将固定块固定到晶圆劈裂机上，然后将劈刀固定到固定块的滑槽内，此时，将收线器中的牵引线放下直至长度等于劈刀下降的长度即可，然后驱动击锤下落击打劈刀的上端，由于劈刀的两个侧边被滑槽所限定，使得击锤在击打劈刀的过程中，劈刀不会出现左右晃动，从而使得位移产生偏差，影响劈裂得到的晶圆的品质，当劈裂完成后，接通驱动电机的电源，转动的电机的输出轴带动固接有收线器的连接轴转动，从而实现劈刀位置的复原，进一步的，可使用锁紧棒贯穿条形通孔A并使得锁紧棒延伸入条形通孔B内，使用锁紧螺母锁紧，使得劈刀和固定块的位置相对固定但劈刀仍可沿滑槽移动，虽然击锤在击打劈刀时需要加大劈打力度，但可以保证击锤在劈打劈刀时劈刀沿竖直方向移动，而不会产生位移偏差。

本实用新型的有益效果如下：