[实用新型]一种单晶炉用反射板

说明书

本实用新型公开一种单晶炉用反射板，包括固化碳毡层和反射层，反射层的边缘向固化碳毡层一侧折弯形成折弯边；固化碳毡层中部开设有托杆孔、以几何中心为圆心的边缘开设有多个电极孔以及开设于相邻两电极孔之间的多个排气孔；反射层上开设有与所述托杆孔、电极孔以及排气孔一一对应且位置相同、尺寸相同的通孔。本实用新型通过在固化碳毡层表面覆盖反射层，反射层将炉内加热器辐射过来的热量反射至坩埚处，有利于热场温度的均匀，使单晶炉内的热场温度均匀，减少了炉底热量的损失，降低了单晶硅棒生产的能耗；采用钼板、钨板、钨钼合金板或铱板等材料作为反射层，其熔点高，不易破裂，导热系数低，有效减缓了反射板的老化，延长了其使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及硅单晶制造技术领域，具体是一种单晶炉用反射板。

背景技术

直拉单晶炉是一种硅的定向凝固设备，其功能是将单晶硅按照设定工艺经过熔料、引晶、放肩、转肩、等径和收尾几个阶段后成为有一定晶体生长方向的晶棒。直拉单晶炉是一种能耗较高、工时较长的生产设备，在同样的晶体方向及晶体尺寸条件下，缩短工时、减少能耗是希望得到改善的。在现有的直拉单晶炉中，为了减少能耗在单晶炉内的加热器的周围设置隔热材料，一种方法是设计保温罩，但是这种方式存在如下不足：在融化阶段加热器底部向下方散热而浪费热能并使熔料时间加长，且无法根据需要对保温材料的厚度进行调节，达到提高保温效果的目的；另一种方式是在单晶炉的底部采用石墨加软炭毡的作为作为反射板用于底部保温，但是石墨材料导热系数高，因此热量发射性能较差，并且使用寿命短，需要频繁更换，而软炭毡经过长时间的高温后会渗入硅致使其保温性能下降、老化，并且容易吸收炉内由于高温挥发的杂质，开炉后难以清理，再次使用时会对单晶炉内硅熔体造成二次污染，并影响单晶硅品质。

中国专利CN201220428055.9公开了一种直拉单晶炉保温结构，包括加热器和设置在所述加热器下方的保温组件，所述保温组件包括保温体、将所述保温体固定在其中的上反射板和下反射板，以及卡设在所述下反射板环形台阶上的挡环。该保温组件结构比较复杂，上反射板和下反射板均为石墨材质，石墨板材容易破裂；且石墨材料导热系数高，不利于保温。

中国专利CN201920242761.6公开了一种单晶炉反射装置，所述单晶炉反射装置设于所述单晶炉的底部，所述反射装置包括：第一反射板；第二反射板，设于所述第一反射板之下；保温材料，填充于所述第一反射板与第二反射板之间；以及反射片，设于所述第一反射板之上。该反射装置结构比较复杂，第一反射板和第二反射板的材质为高纯石墨，石墨板材容易破裂；且石墨材料导热系数高，不利于保温，不利于节能降耗。

实用新型内容

本实用新型针对所要解决的技术问题，提供一种新型的单晶炉用反射板，确保单晶炉内热场的温度均匀，减少炉底部热量的损失，降低单晶硅棒生产的能耗。

为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种单晶炉用反射板，包括固化碳毡层以及覆盖于所述固化碳毡层表面的反射层，所述反射层的边缘向所述固化碳毡层一侧折弯形成折弯边，所述折弯边扣合于所述固化碳毡层的各个侧面上；

所述固化碳毡层中部开设有托杆孔、以几何中心为圆心的边缘均匀开设有多个电极孔以及开设于相邻两所述电极孔之间的多个排气孔；

所述反射层上开设有与所述托杆孔、电极孔以及排气孔一一对应且位置相同、尺寸相同的通孔。

进一步的，所述托杆孔内套设有托杆孔护套，用于保护工作转动时的托杆；所述排气孔内套设有排气孔护套，用于保护固化碳毡层免受腐蚀，提高固化碳毡层的使用寿命。

进一步的，所述固化碳毡层的厚度为30～80mm，进一步优选为50mm，60mm。

进一步的，所述折弯边的高度为5～20mm，进一步优选为10mm，15mm。

进一步的，所述反射层至少为一层，每层的厚度为0.1～1mm，进一步优选为0.2mm，0.3mm，0.4mm，0.5mm。