[实用新型]一种单晶炉用保温筒结构及单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉用保温筒结构，包括相互匹配并依次连接的底部高温板(1)、下保温筒(2)、中保温筒(3)、上保温筒(4)以及上保温板(5)，其特征在于：所述上保温筒(4)包括相互平行的上外保温筒(41)和上内保温筒(42)，所述上内保温筒(42)固定于所述中保温筒(3)的顶部，所述上外保温筒(41)固定连接提升机构(6)并能在所述提升机构(6)的驱动作用下相对于所述上内保温筒(42)做上下往复移动。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉用保温筒结构，其特征在于：所述提升机构(6)包括一端与所述上外保温筒(41)连接的固定支架(61)，所述固定支架(61)的另一端连接在连接臂(62)的一端，所述连接臂(62)的另一端连接在连接管(63)的一端，所述连接管(63)的另一端连接提升套管(64)的一端，所述提升套管(64)另一端连接到笔形气缸(65)；

提升套管(64)、连接管(63)、连接臂(62)、固定支架(61)在所述笔形气缸(65)的作用下同时上下往复移动。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉用保温筒结构，其特征在于：所述上外保温筒(41)和上内保温筒(42)的厚度之和大于或等于所述中保温筒(3)的厚度，所述上内保温筒(42)的厚度小于所述中保温筒(3)的厚度。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉用保温筒结构，其特征在于：所述上外保温筒(41)和所述上内保温筒(42)之间的间隙为1～5mm。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉用保温筒结构，其特征在于：所述上外保温筒(41)的厚度为30～50mm，所述上内保温筒(42)的厚度为30～45mm。

6.根据权利要求2所述的一种单晶炉用保温筒结构，其特征在于：所述固定支架(61)与上外保温筒(41)之间通过固定组件(7)固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉用保温筒结构，其特征在于：所述固定组件(7)为采用碳/碳复合材料制作的螺栓螺母。

8.一种单晶炉，包括单晶炉腔体(16)以及内置于所述单晶炉腔体(16)的加热器(8)、托杆轴(15)、埚托(17)、石英坩埚(9)、导流筒(11)以及籽晶拉杆(14)，其特征在于：还包括如权利要求1至7任一项所述的单晶炉用保温筒结构，所述单晶炉用保温筒结构的外沿贴近所述单晶炉腔体(16)的内壁，所述石英坩埚(9)、托杆轴(15)、埚托(17)相对于所述单晶炉腔体(16)做上下往复移动。

9.根据权利要求8所述的一种单晶炉，其特征在于：所述石英坩埚(9)内放置有硅熔体(10)，所述籽晶拉杆(14)上附着有籽晶(13)，所述硅熔体(10)和籽晶(13)反应生成硅晶体(12)；

在熔料阶段，托杆轴(15)、埚托(17)和石英坩埚(9)处于下段行程，所述单晶炉用保温筒结构的上外保温筒(41)扣合在中保温筒(3)的顶部；

在等径生长阶段，托杆轴(15)、埚托(17)和石英坩埚(9)处于上段行程，所述单晶炉用保温筒结构的上外保温筒(41)被所述提升机构(6)提升至所述上内保温筒(42)上方。

10.根据权利要求9所述的一种单晶炉，其特征在于：所述单晶炉还包括固定在所述单晶炉用保温筒结构的底部保温板(1)上端的反射板(18)。