[实用新型]一种直流磁控溅射电源出线机构

权利要求书

1.一种直流磁控溅射电源出线机构，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）一侧开有第一矩形槽（12），所述第一矩形槽（12）中部一侧固定连接有第一转动轴（11），所述第一转动轴（11）远离第一矩形槽（12）中部一侧的一端固定连接有出线管（10），所述出线管（10）内部设置有线缆（4），所述出线管（10）两端内部均设置有滚轮（15），所述出线管（10）一端穿过第一矩形槽（12），所述出线管（10）位于箱体（1）内部的一端转动连接有支撑架（9），所述支撑架（9）远离出线管（10）的一端固定连接有固定杆（8），所述固定杆（8）中部转动连接有绕线柱（5），所述绕线柱（5）周侧设置有线缆（4），所述固定杆（8）靠近支撑架（9）的一侧固定连接有滑块（6），所述箱体（1）内部靠近滑块（6）的一侧开设有滑槽（7），所述箱体（1）远离滑槽（7）的一侧开设有第二矩形槽（14），所述固定杆（8）远离滑槽（7）的一端穿过第二矩形槽（14）并固定连接有把手（13），所述箱体（1）靠近第二矩形槽（14）的一侧开设有第二通孔（18），所述把手（13）靠近第二通孔（18）的一侧开设有第三通孔（17），所述箱体（1）远离第一矩形槽（12）的一端开设有第一通孔（3），所述第一通孔（3）内部设置有线缆（4），所述线缆（4）一端穿过第一通孔（3）并位于出线箱（2）出口端。

2.根据权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源出线机构，其特征在于：所述第二通孔（18）的数量为多个，且均匀分布在第二矩形槽（14）一侧，且第二通孔（18）位于同一条竖直线上，所述第三通孔（17）内部设置有插销（16），所述插销（16）依次穿过第三通孔（17）与第二通孔（18）。

3.根据权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源出线机构，其特征在于：所述滚轮（15）的数量为多个，且滚轮（15）呈环型放置在出线管（10）内部。

4.根据权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源出线机构，其特征在于：所述支撑架（9）的材质为金属材质，且支撑架（9）呈L型。

5.根据权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源出线机构，其特征在于：所述滑槽（7）为T型滑槽（7），所述滑块（6）为T型滑块（6），所述滑块（6）位于滑槽（7）内部。

6.根据权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源出线机构，其特征在于：所述第二矩形槽（14）的高度与滑槽（7）一致。

7.根据权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源出线机构，其特征在于：所述出线管（10）中部与第一转动轴（11）固定连接。