[实用新型]基板玻璃缺陷检测装置有效
申请号: | 202020242221.0 | 申请日: | 2020-02-28 |
公开(公告)号: | CN211478808U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 李青;李赫然;吴松江;苏记华;刘丹;张晓宇;尚建威;付冲;李岗 | 申请(专利权)人: | 郑州旭飞光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 金兰 |
地址: | 450016 河南省郑*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 缺陷 检测 装置 | ||
1.一种基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,包括控制单元、用于对基板玻璃(100)的缺陷位置进行照明的光源(4)、以及用于对所述缺陷位置进行图像采集的可变焦的摄像单元,
所述控制单元用于控制所述摄像单元沿所述基板玻璃(100)的厚度方向变焦并进行图像采集;
所述光源(4)的中心线与所述摄像单元的物侧透镜(22)的中心线重合,以使所述光源(4)发射出的光束沿所述摄像单元的图像采集路径(A)射向所述缺陷位置。
2.根据权利要求1所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述基板玻璃缺陷检测装置还包括测距单元(3),所述测距单元(3)用于测量该检测装置与所述基板玻璃(100)之间的距离,所述控制单元用于根据所述测距单元(3)测得的距离信息控制所述摄像单元聚焦在所述基板玻璃(100)靠近该检测装置的一面。
3.根据权利要求2所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述测距单元(3)包括激光发射器、以及用于接收从该激光发射器射出并经所述基板玻璃(100)反射的激光的光电接收器。
4.根据权利要求1所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述摄像单元还包括驱动部(21)、固定设置的摄像单元本体(23)、以及与所述摄像单元本体(23)固定连接的像侧透镜(24),所述驱动部(21)根据所述控制单元发送的控制指令驱动所述物侧透镜(22)沿其中心线方向移动,以实现对所述基板玻璃(100)的多次聚焦。
5.根据权利要求4所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述摄像单元还包括第一反射机构(25)和第二反射机构(26),所述物侧透镜(22)的中心线用于与所述基板玻璃(100)平行,所述像侧透镜(24)的中心线用于与所述基板玻璃(100)垂直,所述第一反射机构(25)用于将所述缺陷位置的图像信息反射至所述物侧透镜(22),所述第二反射机构(26)用于将所述物侧透镜(22)接收的所述图像信息反射至所述像侧透镜(24)。
6.根据权利要求5所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述第一反射机构(25)和所述第二反射机构(26)分别构造为第一直角三棱镜和第二直角三棱镜,且该第一直角三棱镜和第二直角三棱镜的斜面分别构造为第一反射面(251)和第二反射面(261)。
7.根据权利要求6所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述光源(4)与所述第二直角三棱镜的直角面相邻设置,以使所述光源(4)发射出的光束依次穿过所述第二直角三棱镜、所述物侧透镜(22)后经所述第一反射面(251)射向所述缺陷位置。
8.根据权利要求4所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述物侧透镜(22)构造为凸透镜,所述像侧透镜(24)构造为凹透镜,所述凸透镜和所述凹透镜的曲率中心重合。
9.根据权利要求1-8中任意一项所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述光源(4)选用LED发光二极管,以发射出波长在400-800nm之间、光束发散性为37°且辐射面积大于10mm2的可见光。
10.根据权利要求1-8中任意一项所述的基板玻璃缺陷检测装置,其特征在于,所述基板玻璃缺陷检测装置还包括壳体(10),所述控制单元、所述光源(4)及所述摄像单元均设置在所述壳体(10)内。
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