[实用新型]一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头

权利要求书

1.一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头，包括空心轴(1)，其特征在于：所述空心轴(1)内部活动设置有主轴(2)，所述空心轴(1)一端外侧设置有第一壳体(3)，所述空心轴(1)远离第一壳体(3)的一端外侧设置有第二壳体(4)，所述第一壳体(3)顶部设置有进水口(5)，所述第二壳体(4)顶部设置有出水口(6)，所述第一壳体(3)、第二壳体(4)内侧之间均设置有隔水环(7)，所述第一壳体(3)、第二壳体(4)内部在隔水环(7)两端均设置机械密封机构(8)，所述进水口(5)、出水口(6)底端在机械密封机构(8)外侧均设置有L型密封圈(9)，所述第一壳体(3)、第二壳体(4)内部一端在空心轴(1)外侧均设置有深沟球轴承(10)，所述第一壳体(3)、第二壳体(4)内部在深沟球轴承(10)外侧均设置有挡圈(11)，所述第一壳体(3)一端与第二壳体(4)之间设置有O型圈(12)，所述第二壳体(4)、主轴(2)外部一端外侧表面均安装有内六角螺钉(13)，所述第一壳体(3)、第二壳体(4)外侧表面均设置有消音器(20)。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头，其特征在于：所述机械密封机构(8)包括密封圈(14)、弹簧(15)、压块(16)、承接环(17)和离合块(18)，所述第一壳体(3)、第二壳体(4)内部一端在空心轴(1)外侧均设置有密封圈(14)，所述密封圈(14)一端均设置有弹簧(15)，所述弹簧(15)远离密封圈(14)的一端均固定设置有压块(16)、所述压块(16)远离弹簧(15)的一侧均固定设置有承接环(17)，所述承接环(17)远离压块(16)的一侧均固定设置有离合块(18)。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头，其特征在于：所述内六角螺钉(13)内侧均设置有配垫圈(19)。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头，其特征在于：所述隔水环(7)的材质为石墨。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头，其特征在于：所述O型圈(12)的材质为橡胶。