[实用新型]固体红外真空吸附表征系统

权利要求书

1.一种固体红外真空吸附表征系统，其特征在于，包括：补气模块(1)、真空模块(2)和原位池模块(3)；

所述补气模块(1)包括气体罐(11)和液体罐(12)；

所述真空模块(2)包括真空机械泵(21)、分子涡轮泵(22)和复合真空规(23)；

所述原位池模块(3)包括原位池(31)和可拆卸管道(32)；

所述气体罐(11)的抽气端通过管道与外置气源连接，且其上安装有阀体一(13)；所述气体罐(11)的鼓气端通过管道与所述可拆卸管道(32)连接，且其上依次安装有阀体二(14)、阀体七(27)和阀体八(28)；所述可拆卸管道(32)与所述原位池(31)连通；所述液体罐(12)通过管道与所述阀体二(14)和所述阀体七(27)之间的管道连通，且其上安装有阀体三(15)；所述真空机械泵(21)与所述分子涡轮泵(22)通过管道连通，且其上安装有阀体四(24)；所述分子涡轮泵(22)通过管道与所述阀体七(27)和所述阀体八(28)之间的管道连通，且其上安装有阀体六(26)，并通过管道延伸连通有所述复合真空规(23)；所述真空机械泵(21)通过管道与所述阀体六(26)和所述阀体八(28)之间的管道连通，且其上安装有阀体五(25)。

2.根据权利要求1所述的一种固体红外真空吸附表征系统，其特征在于，所述阀体一(13)、所述阀体二(14)和所述阀体三(15)为常压阀。

3.根据权利要求1所述的一种固体红外真空吸附表征系统，其特征在于，所述阀体四(24)、所述阀体五(25)、所述阀体六(26)、所述阀体七(27)和所述阀体八(28)为真空隔膜阀。

4.根据权利要求1所述的一种固体红外真空吸附表征系统，其特征在于，所述外置气源为单一或多个钢瓶或气袋，且具有可拆卸接口或配气箱与所述阀体一(13)连通。

5.根据权利要求1所述的一种固体红外真空吸附表征系统，其特征在于，所述外置气源为正压。

6.根据权利要求1所述的一种固体红外真空吸附表征系统，其特征在于，所述真空模块(2)内的管道为真空波纹管。

7.根据权利要求1所述的一种固体红外真空吸附表征系统，其特征在于，所述可拆卸管道(32)为波纹管。

8.根据权利要求1所述的一种固体红外真空吸附表征系统，其特征在于，所述复合真空规(23)为皮拉尼真空规、或采用电阻规和电离规组成。